[发明专利]光刻机物镜顶板的检测装置及调整方法

权利要求书

1.一种光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，包括下板组件、上板组件、自准直望远镜和物镜顶板参考镜；

所述自准直望远镜的出射光束入射到所述下板组件上，入射到所述下板组件的光束一部分直接被所述下板组件反射回所述自准直望远镜，其余部分则经所述下板组件反射后射入所述上板组件，射入所述上板组件的光束经所述上板组件多次反射后射到所述物镜顶板参考镜上，经所述物镜顶板参考镜反射后沿原光路返回所述自准直望远镜。

2.如权利要求1所述的光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，所述下板组件包括工装下板、多个工装定位销、分光棱镜、工装参考镜和六维调整座；

所述工装下板设有一安装孔；

所述多个工装定位销穿过所述工装下板、设置在所述安装孔的外圆周；

所述工装参考镜设置在所述工装下板的上表面上，该工装参考镜设有反射面，所述反射面垂直于所述工装下板的上表面；

所述六维调整座设置在所述工装下板的上表面上；

所述分光棱镜设置在所述六维调整座上。

3.如权利要求2所述的光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，所述分光棱镜的中间设有一半透明半反射膜，该半透明半反射膜与所述分光棱镜的上表面成45°，所述分光棱镜的一侧面镀有半透明半反射膜。

4.如权利要求2所述的光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，所述工装定位销的底端设有定位销球头接口。

5.如权利要求1所述的光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，所述上板组件包括工装上板、六维调整座和分光棱镜；

所述六维调整座设置在所述工装上板上；

所述分光棱镜设置在所述六维调整座上。

6.如权利要求5所述的光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，所述上板组件还包括工装参考镜，所述工装参考镜设置在所述工装上板上，该工装参考镜设有反射面，所述反射面垂直于所述工装上板。

7.如权利要求5或6所述的光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，所述分光棱镜为五角分光棱镜。

8.如权利要求1所述的光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，所述自准直望远镜包括分划板和自准直望远镜物镜；

所述分划板设置在所述自准直望远镜物镜的后焦面处，该分划板垂直于所述自准直望远镜物镜的光轴。

9.如权利要求8所述的光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，所述分划板上刻有X、Y向指标线像，所述指标线像的零位处与所述自准直望远镜物镜的焦点重合。

10.一种使用如权利要求1所述的光刻机物镜顶板的检测装置调整物镜顶板Rz向精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，使用自准直望远镜离线安装调整下板组件；

步骤S2，使用自准直望远镜离线安装调整上板组件；

步骤S3，将所述下板组件安装到物镜接口定位销上；

步骤S4，将自准直望远镜安装到光刻机上；

步骤S5，将所述上板组件安装到物镜顶板上；

步骤S6，将物镜顶板参考镜安装到所述物镜顶板上；

步骤S7，调整所述物镜顶板；

步骤S8，拆卸下所述下板组件、上板组件和物镜顶板参考镜。

11.如权利要求10所述的调整物镜顶板Rz向精度的方法，其特征在于，所述下板组件工装下板、多个工装定位销、分光棱镜、工装参考镜和六维调整座；所述工装下板设有一安装孔；所述多个工装定位销穿过所述工装下板、设置在所述安装孔的外圆周，所述步骤S1具体为：

步骤S1.1，将所述工装参考镜安装到所述工装下板上，安装时，所述工装参考镜的反射面紧贴一工装定位销的外侧壁；

步骤S1.2，定位所述自准直望远镜，使所述自准直望远镜发射的光束能被所述工装参考镜的反射面反射回所述自准直望远镜；

步骤S1.3，将所述六维调整座安装到所述工装下板上，所述分光棱镜安装到所述六维调整座上，使用所述自准直望远镜调整所述六维调整座，使所述分光棱镜的侧面平行于所述工装参考镜的反射面。