[发明专利]一种垂直磁各向异性多层膜有效
| 申请号： | 201010119180.7 | 申请日： | 2010-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101752051A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 徐晓光;姜勇;李晓其;张德林 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | H01F10/10 | 分类号： | H01F10/10 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 | 代理人： | 刘淑芬 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 各向异性 多层 | ||
【权利要求书】：
1.一种垂直磁各向异性多层膜，其特征在于：多层膜结构为[Ni(x)/Co2MZ(y)]n，Co2MZ为L21、B2或A2结构的半金属Heusler合金组分，M为Fe、Cr或Mn元素，Z为Al、Si、Ge或B元素，结构中，M位置为一种或两种元素占据，Z位置也为一种或两种元素占据，具体占据的比例不作要求，但要求保证Co∶M∶Z的原子比为2∶1∶1；各层膜厚度x、y为0.6nm＜x＜20nm，0.4nm＜y＜5nm，[Ni(x)/Co2MZ(y)]周期结构的重复数目为2＜n＜20；其性能达到：薄膜的矫顽力在10Oe到1000Oe间，垂直磁各向异性场介于5000Oe到10000Oe区间，400℃退火后薄膜仍保持垂直磁各向异性。
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