[发明专利]激光压力传感器

权利要求书

1.激光压力传感器，其特征在于设有力敏反射镜、引压头、压头基座、压焊环、压头固 定座、激光发生器、CCD接收器、燕尾导块、螺杆、调节旋轮、顶盖、定位环、壳体和底座 盘；

力敏反射镜制备在高弹性膜片上，力敏反射镜、引压头、压头基座和压焊环组成引压探 头，压头基座与引压头螺接；激光发生器设置在两CCD接收器之间，激光发生器设于燕尾导 块上，两CCD接收器通过CCD接收器支架设于燕尾导块上，两CCD接收器分别对正压引 起的力敏反射镜凸变形、负压引起的力敏反射镜凹变形进行检测；燕尾导块的一端与螺杆相 连，调节旋轮用于激光发射及接收位置的精密定位与调节；在燕尾导块底部设有刻度尺；压 头固定座与顶盖连接，顶盖与壳体连接，壳体底部与定位环连接，壳体通过定位环与底座盘 固定为一体，构成激光反射腔。

2.如权利要求1所述的激光压力传感器，其特征在于所述力敏反射镜采用离子溅射纳米 镀膜工艺制作在高弹性膜片上。

3.如权利要求1所述的激光压力传感器，其特征在于所述引压探头接引气管，或注入硅 油。

4.如权利要求1所述的激光压力传感器，其特征在于所述底座盘的中部设有燕尾槽。

5.如权利要求1所述的激光压力传感器，其特征在于所述激光发生器的电源线与CCD 接收器的数据线在燕尾导块底部引出。

6.如权利要求1所述的激光压力传感器，其特征在于所述CCD接收器的数据线通过十 针插槽接CCD数据采集器。

7.如权利要求1所述的激光压力传感器，其特征在于所述CCD接收器的数据线通过USB 插口与计算机连接。