[发明专利]电极用钛材及电极用钛材的表面处理方法

权利要求书

1.一种电极用钛材，其特征在于，在由纯钛或钛合金构成的钛材的表面，具有厚度为3nm以上75nm以下、且层中的氧浓度最大的部位的氧和钛的原子浓度比O/Ti为0.3以上1.7以下的氧化钛层，

在所述氧化钛层上具有厚度为2nm以上的合金层，所述合金层含有选自Au、Pt、Pd中的至少1种贵金属及选自Zr、Nb、Ta、Hf中的至少1种非贵金属，所述贵金属和所述非贵金属的含有比例，即贵金属∶非贵金属，按原子比计为35∶65～95∶5。

2.一种电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，包括：

氧化钛层形成工序，在由纯钛或钛合金构成的钛材的表面形成10nm以上80nm以下的厚度的氧化钛层；

合金层形成工序，利用PVD法在所述氧化钛层上形成厚度为2nm以上的合金层，所述合金层含有选自Au、Pt、Pd中的至少1种贵金属及选自Zr、Nb、Ta、Hf中的至少1种非贵金属，所述贵金属和所述非贵金属的含有比例，即贵金属∶非贵金属，按原子比计为35∶65～95∶5；

热处理工序，将形成有所述合金层的钛材在300℃以上800℃以下的温度下进行热处理。

3.根据权利要求2所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，所述氧化钛层形成工序中，在大气中以200℃以上600℃以下的温度进行热处理。

4.根据权利要求2所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，在所述氧化钛层形成工序中，在100V以下的电压下进行阳极氧化处理。

5.根据权利要求2所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，在所述氧化钛层形成工序中，在使钛形成钝态的氛围下进行氧化处理。

6.根据权利要求2～5中任一项所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，在进行所述氧化钛层形成工序之前，进行用含有非氧化性的酸的溶液除去所述钛材表面的自然氧化层的酸洗处理工序。