[发明专利]一种用于晶圆磨床的对刀装置

权利要求书

1.一种用于晶圆磨床的对刀装置，其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上能够调节的轴向调节机构，所述轴向调节机构连接所述转动轴；所述传感器座带有导杆安装法兰，所述导杆安装法兰均布有导杆定位孔，所述侧臂上端面开有与所述导杆定位孔对应的弹簧定位孔，所述带弹簧的导杆具体包括导杆、弹簧，所述导杆的直杆部分贯穿所述传感器的导杆定位孔，所述导杆的上部通过螺母紧固于所述导杆安装法兰上端面；所述导杆的直杆外端套装有所述弹簧，所述弹簧下端面低于所述导杆的下端面，所述弹簧的上端顶装于所述导杆安装法兰下端面，所述弹簧的下端顶装于所述弹簧定位孔的最深处；所述弹簧定位孔为通孔，所述侧臂的下端面通过螺钉紧固连接有支撑片，所述支撑片环绕所述传感器，所述弹簧的下端顶装于所述支撑片的上端面。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置，其特征在于：所述侧臂与所述连接块通过螺钉和销紧固连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置，其特征在于：所述轴向调节机构具体包括两个螺母、一个垫块，所述连接块的与所述转动轴的连接部分开有一个开口式环形孔，所述转动轴的上部有带有螺纹的螺纹端，所述两个螺母套装于所述螺纹端，所述转动轴贯穿所述一个垫块的安装孔，所述一个垫块支承于所述两个螺母中的上部螺母的上端面，所述转动轴贯穿所述连接块的所述开口式环形孔，螺钉紧固连接所述开口式环形孔的开口的两侧。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置，其特征在于：所述驱动机构具体包括双作用气缸、连接条、连接板、衬套、轴承座和防水罩，所述连接条紧固连接所述支架的上端部的一侧面，所述双作用气缸通过T形座与所述连接条紧固连接，所述双作用气缸的活塞头连接所述连接板，所述连接板通过肘接头连接所述转动轴，所述轴承座支承于所述支架的上端面，所述轴承座的外部套装有所述防水罩，所述轴承座内部安装有所述衬套，所述转动轴贯穿所述轴承座内部的所述衬套。