[发明专利]蒸发源装置无效
| 申请号： | 201010124407.7 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN102168248A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李适维;邱振海;黄伟民;林清儒 | 申请（专利权）人： | 绿阳光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李树明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
1.一种蒸发源装置，其包含：
一坩锅，具有一第一容置空间及第二容置空间；以及
一喷嘴盖体，设置于该坩锅的开口处，具有一第一斜孔喷嘴及一第二斜孔喷嘴，该第一斜孔喷嘴及该第二斜孔喷嘴分别连接于该一第一容置空间及该第二容置空间。
2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：该坩锅为一筒状结构，该筒状结构为圆形或方形，该喷嘴盖体具有一嵌槽，该坩锅的该开口处的筒壁可嵌合入该嵌槽。
3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：该第一斜孔喷嘴的中心线与该喷嘴盖体的中心线之间具有一第一夹角。
4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于：该夹角为3～40度角，该夹角为5～20度角，该夹角为8～15度角。
5.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：该第二斜孔喷嘴与该喷嘴部的中心线之间具有一第二夹角。
6.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于：该第二夹角为3～40度角，该第二夹角为5～20度角，该第二夹角为8～15度角。
7.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于：该第一斜孔喷嘴的轴线相交于该第二斜孔喷嘴的轴线。
8.一种蒸发源装置，其包含：
一坩锅，具有一第一容置空间及第二容置空间；以及
一喷嘴盖体，具有一嵌合部，该喷嘴盖体经由该嵌合部而与该坩锅的一开口卡固连接，该喷嘴盖体并具有数个第一斜孔喷嘴及数个第二斜孔喷嘴。
9.根据权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于：该嵌合部具有一阶梯状的套接段，该嵌合部具有一凹设的嵌槽。
10.一种蒸发源装置，其包含：
一坩锅，其中容纳有一蒸镀材料；以及
一喷嘴盖体，卡固于该坩锅的开口处，具有一第一斜孔喷嘴以及一第二斜孔喷嘴，该第一斜孔喷嘴及该第二喷嘴分别连接于该坩锅。
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