[发明专利]涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种将涂布液涂布在基板上的涂布装置。

背景技术

在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中，使用涂布有抗蚀剂液的玻璃基板(以下也称之为涂布基板)。而且，所述涂布基板是通过使用将抗蚀剂均匀涂布在玻璃基板上的涂布装置而制成的。

作为这样的涂布装置，下述专利文献1公开了以下技术方案：上述涂布装置具有：基板保持盘，保持基板；涂布头(涂布部)，配置在由基板保持盘保持的基板上方、且从下端部的喷嘴流出抗蚀剂液；相对移动装置，使涂布头相对于基板保持盘相对水平地移动；其中，使涂布头相对于基板保持盘进行相对水平移动的同时，流出涂布液，从而在基板保持盘的基板上涂布抗蚀剂液。

另外，由于基板上表面与涂布头的喷嘴之间，通常仅有数十μm～百数十μm的间隙，所以如果在基板上存在异物或者在基板保持盘上存在异物而基板浮起来，则存在涂布头的喷嘴与异物或基板发生碰撞而损伤喷嘴或基板的担忧。

因此，如图6所示，专利文献1的涂布装置包括：板状部件(碰撞部)150，其按照在相对于基板保持盘114进行相对移动的方向X1的前方侧上与异物P发生碰撞的方式进行设置；振动传感器151，检测所述板状部件150的振动；控制装置，在振动由振动传感器151被检测时，对涂布头122的相对移动进行强制停止。而且，所述涂布装置具有下述构成：通过使板状部件150与基板112上的异物P发生碰撞，并由振动传感器151检测出因该碰撞而产生的振动，根据该检测信号强制停止涂布头122在X1方向上的移动，由此能够预防涂布头122的喷嘴144与异物P发生碰撞的问题。

专利文献1：特许第3653688号公报

在专利文献1的涂布装置中，从振动传感器151检测出振动到实际停止涂布头122的相对移动需要花费时间，因此必须以涂布头122在该时间内所移动的距离(停止距离)长度来设置涂布头122的喷嘴144与板状部件150之间的间隔L。

另一方面，伴随着近几年抗蚀剂液等的涂布性能的提高，相对于基板保持盘114的涂布头122的相对移动速度具有高速化的倾向。因此，也需要加长涂布头122的停止距离长度，由此需要进一步增加涂布头122的喷嘴144与板状部件150之间的间隔L。但是，如果增加涂布头122与板状部件150之间的间隔L，则存在装置大型化的问题。另外，还存在下述问题：在因与异物P发生碰撞以外的原因而涂布头122以其重心位置为中心产生振动时，距离涂布头122的中心位置越远，由该振动而产生的位移就越大，因此如果增加涂布头122与板状部件150(振动传感器151)之间的间隔L，则对与异物P碰撞以外的振动容易错误地进行检测。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的为提供一种在异物检测部检测出异物之后，即使在不增加喷嘴到异物等之间距离的情况下，也可以避免喷嘴与异物等之间的碰撞，能够抑制装置大型化的涂布装置。

(1)本发明的涂布装置，其特征在于，包括：保持台，在水平面上保持基板；涂布部，包括朝向所述保持台上的所述基板流出涂布液的喷嘴；行走机构，使所述涂布部相对于所述保持台在水平方向上行走；升降机构，使所述涂布部在上下方向上升降；异物检测部，为了在所述基板上涂布，通过所述行走机构使所述涂布部行走时，检测出位于所述喷嘴的行走方向前方侧的异物；退避控制部，当所述异物检测部检测出异物时，控制所述升降机构以使所述涂布部朝向上方退避。

本发明的涂布装置，由于在通过异物检测部检测出异物时，升降机构通过退避控制部被控制以使涂布部朝上方退避，因此即使不增加用来适应涂布部行走速度的高速化等而从异物检测部检测出异物后喷嘴行走至异物的距离(从异物检测部到喷嘴之间的距离)，也能够避免喷嘴与异物等之间的碰撞，从而能够抑制装置的大型化。

(2)优选的是，所述异物检测部被设置在所述涂布部的喷嘴的行走方向前方侧，且包括：碰撞部，在所述基板上或所述保持台上有异物时，能够与所述异物或者所述基板的表面发生碰撞；碰撞检测部，检测出因与所述异物或者所述基板表面发生碰撞而引起的所述碰撞部的高度变化。