[发明专利]一种位置校准系统及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准，该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及一个驱动推动部件的电机，其特征在于，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，所述每一个限位部件均设置在基座上并且与所述推动部件的外缘相抵，所述推动部件在电机的驱动下转动而使所述限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。

2.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，在所述第一限位部件与第二限位部件之间和/或第一限位部件与第三限位部件之间和/或第二限位部件与第三限位部件之间设置有弹性部件，所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件在推动部件的推动下彼此远离时，借助于所述弹性部件的弹性收缩力而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。

3.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件与所述基座之间设有弹性部件，所述弹性部件的一端固定在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件上，另一端设置在所述基座上，以使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。

4.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，所述限位部件上设置有滚轴，所述限位部件借助于该滚轴而与所述推动部件的外缘相抵。

5.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，所述位置校准系统还包括移动导向装置，其设置在所述限位部件和基座之间，所述限位部件可在该移动导向装置上发生位移。

6.根据权利要求5所述的位置校准系统，其特征在于，所述移动导向装置包括导轨和/或导杆和/或导槽、以及与它们相配合的滑块，所述限位部件设置在所述滑块上并在滑块的带动下产生位移。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的位置校准系统，其特征在于，所述推动部件包括这样一个轮盘：即，该轮盘的外缘具有不同的曲率，并且当所述限位部件沿该轮盘外缘滑动时，随着曲率的变化而使所述限位部件远离或者靠近该轮盘的转轴。

8.根据权利要求1-6任意一项所述的位置校准系统，其特征在于，所述推动部件包括至少两个固定地叠置在一起的凸轮，并且每一个凸轮的外缘均具有不同的曲率，当所述限位部件沿该凸轮外缘滑动时，随着曲率的变化而使所述限位部件远离或者靠近该凸轮的转轴。

9.根据权利要求8所述的位置校准系统，其特征在于，所述凸轮为中心对称的板状实体结构，其外缘轮廓在基座平面上的投影类似于拉长的数字“8”，并且上下两部分形状和大小相同。

10.一种等离子体处理装置，包括反应腔室、工件传送部件及用于校准待定位工件的位置校准系统，其特征在于，所述位置校准系统采用权利要求1-9中任意一项所述的位置校准系统。

11.根据权利要求10所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述处理装置是等离子增强化学气相沉积装置，用于加工太阳能电池片。