[发明专利]涂浆装置及涂浆方法

权利要求书

1.一种涂浆装置，在支承台上设置门形架，该门形架能够移动地设置了1个或多个涂敷头，该涂敷头具有充填了浆料的浆料收容筒和从该浆料收容筒排出浆料的喷嘴排出口，在设置于该支承台上的基板载置台上搭载基板，该门形架相对于该基板移动，从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上；其特征在于：

该基板载置台是设置了多个吸附孔的多个第1构件和多个第2构件正交地组合而构成井形架形的结构的台，

具有XYθ轴移动机构，该XYθ轴移动机构用于使该基板载置台移动及旋转，对载置在该基板载置台上的该基板的位置、姿势进行调整。

2.一种涂浆装置，在支承台上设置门形架，该门形架能够移动地设置了1个或多个涂敷头，该涂敷头具有充填了浆料的浆料收容筒和从该浆料收容筒排出浆料的喷嘴排出口，在设置于该支承台上的基板载置台上搭载基板，该门形架相对于该基板移动，从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上；其特征在于：

在该基板载置台的中心设置用于θ轴方向的旋转方向的定位的、由交叉滚子轴承构成的θ轴移动机构，

该基板载置台是多个第1构件和多个第2构件正交地组合而构成井形架形的结构的台，

在该第1、第2构件正交的位置设置XYθ轴移动机构，该XYθ轴移动机构由用于该基板载置台的X、Y轴方向的定位的正交轴承和用于θ方向的旋转方向定位的交叉滚子轴承构成。

3.根据权利要求2所述的涂浆装置，其特征在于：能够在上述基板载置台的外侧将上述门形架和设置于上述支承台侧的、对使上述门形架移动的机构进行支承的部分分离。

4.根据权利要求2或3所述的涂浆装置，其特征在于：具有使载置了基板的上述基板载置台移动到能够由设于上述门形架的1个或多个上述涂敷头涂敷浆料的范围的外侧的装置。

5.一种涂浆方法，在支承台上设置门形架，该门形架能够移动地设置了1个或多个涂敷头，该涂敷头具有充填了浆料的浆料收容筒和从该浆料收容筒排出浆料的喷嘴排出口，在设置于该支承台上的基板载置台上搭载基板，该门形架相对于该基板移动，从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上；其特征在于：

该基板载置台是多个第1构件和多个第2构件正交地组合而构成井形架形的结构的台，

在该基板载置台的中心部设置用于θ轴方向的旋转方向的定位的、由交叉滚子轴承构成的θ轴移动机构，同时，在该基板载置台的中心部以外的位置具有由正交轴承和交叉滚子轴承构成的XYθ轴移动机构，

由设于该第1、第2构件正交的位置的该正交轴承将该基板载置台在X、Y轴方向定位，由设于该第1、第2构件正交的位置的该交叉滚子轴承在θ轴方向的旋转方向对该基板载置台进行定位。

6.根据权利要求5所述的涂浆方法，其特征在于：能够将上述门形架和设置于上述支承台侧的、对使上述门形架移动的机构进行支承的部分分离。

7.根据权利要求5或6所述的涂浆方法，其特征在于：能够使载置了上述基板的上述基板载置台移动到能够由设于上述门形架的上述涂敷头涂敷浆料的范围的外侧。