[发明专利]双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法有效

专利信息
申请号: 201010126608.0 申请日: 2010-03-17
公开(公告)号: CN101806657A 公开(公告)日: 2010-08-18
发明(设计)人: 周明;李大伟;赵元安;邵建达;范正修 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G02B7/02;G02B5/30;G02B26/08
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 波长 激光 同时 辐照 光学薄膜 损伤 阈值 测量 装置 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及光学薄膜的光学性能评价,特别是一种双波长激光同时 辐照下光学薄膜损伤阈值的测量装置和方法。

背景技术

在目前的国际标准ISO 11254-1中,仅存在一种波长激光辐照光学 薄膜的测量装置和评价体系。其基本方法为通过单个波长激光辐照薄膜, 判断薄膜在某一能量密度E下的损伤点个数S,一般测量10个点,则得 到损伤发生的概率为P=S/10,随后改变其能量密度E1,E2...,而重新得到 相应的损伤概率P1,P2...,采取直线拟合所得损伤概率P和对应能量密度 数据点E可得到损伤阈值值Φ。而近年来随着各种激光器的发展和应用, 很多光学元件需要被不同波长激光同时辐照,因此对双波长激光同时辐 照光学薄膜损伤阈值的测量要求也越来越迫切。而目前国内外尚没有对 两个波长激光同时辐照下光学薄膜损伤阈值测量装置和评价方法。

发明内容

本发明为了解决上述现有技术的不足,提供了一种双波长激光同时 辐照下光学薄膜损伤阈值的测量装置和测量方法。

本发明的技术解决方案如下:

一种双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置,包括输出波 长为λ1的第一激光器和输出波长为λ2的第二激光器,用于准直光路和协 助监测损伤破坏的第三激光器,一个位于移动平台上的待测样品,特点 在于其构成是:

在所述的第一激光器输出的第一激光路上依次设置第一能量衰减 器、第一分光镜和第一透镜,波长为λ1的激光辐照在所述的待测样品上, 在所述的第一分光镜的反射光路上设置第一能量计,用以测量波长为λ1的激光能量;

在所述的第二激光器输出的第二激光路上依次设置光路延时器、第 二能量衰减器、第二分光镜和第二透镜,波长为λ2的激光辐照在所述的 待测样品上,在所述的第二分光镜的反射光路上设置第二能量计,用以 测量波长为λ2的激光能量;

在所述的待测样品的表面空间设置CCD在线判断装置,所述的第一 激光器、第二激光器、第三激光器、CCD在线判断装置和移动平台通过 通信线与计算机连接。

所述的第一透镜和第二透镜都具有沿光轴方向的移动调节机构。

所述的光路延时器由依次设置的第一反射镜、第二反射镜、第三反 射镜、第四反射镜形成的∪形折叠光路构成

所述的能量衰减器由可旋转的半波片和一个偏振片组成。

所述的第一激光路和第二激光路还设置有适当的数量的反射镜,使 第一激光路和第二激光路的光程基本相等。

利用上述的双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量装置进行 双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量方法,包括下列步骤:

①调整光路:调整所述的光路延时器,同时移动所述的第二反射镜 和第三反射镜的位置,使第一激光路和第二激光路的光程相等,即在所 述的计算机的控制下,使λ1激光和λ2激光同时辐照在所述的待测样品上;

②通过所述的第一透镜和第二透镜的移动调节机构,调整所述的第 一透镜和第二透镜的位置,使所述的λ1激光和λ2激光辐照在所述的待测 样品上的的光斑大小相同;

③进行单波长激光辐照光学薄膜损伤阈值测量:启动计算机并控制 所述的第二激光器、移动平台、第三激光器、第二能量计和CCD在线判 断装置,实施单个波长λ2激光,按国际标准ISO11254-1测量λ2激光单 独辐照下待测样品的损伤阈值Φλ2

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