[发明专利]二氧化钒薄膜的镀膜液和薄膜的制备方法及应用有效
申请号: | 201010126865.4 | 申请日: | 2010-03-18 |
公开(公告)号: | CN101805134A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 高彦峰;张宗涛;杜靖;康利涛;罗宏杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C03C17/27 | 分类号: | C03C17/27 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 许亦琳;余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氧化 薄膜 镀膜 制备 方法 应用 | ||
1.一种二氧化钒薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)镀膜液镀膜:在标准RCA工艺清洗过的玻璃衬底上采用二氧化钒薄膜的镀膜液镀制需厚度的薄膜,烘干处理,以备烧结使用;
(2)薄膜的烧结:将步骤(1)中烘干处理的薄膜在真空或非氧化性气氛下烧结,烧结温度为250-1000℃,烧结时间为1min.-20h,烧结完毕,冷却后取出,得到二氧化钒薄膜;
所述二氧化钒薄膜的镀膜液,包括如下含量的溶质:
四价钒的化合物:摩尔浓度为0.001-10mol/L;
添加剂:质量百分含量为0.01%-40%;
所述的添加剂选自油酸、盐酸、氢氟酸、氨水、双氧水、乙二醇、甘油、油胺、四丙基溴化铵和聚乙烯醇中的一种或者几种;
所述的四价钒的化合物选自乙酰丙酮氧钒、二氯二茂钒中的至少一种;
所述镀膜液的溶剂选自甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、丁醇、丙酮、乙醚、乙酰丙酮、甲苯、氯仿中的一种或几种,或者选自甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、丁醇、丙酮、乙醚、乙酰丙酮、甲苯、氯仿中的一种或几种与水的混合溶液。
2.根据权利要求1所述的一种二氧化钒薄膜的制备方法,其特征在于:所述溶质还包括掺杂元素的相应元素化合物,所述掺杂元素的相应元素化合物的总摩尔数相对于四价钒的化合物的摩尔百分比为0.01%-15%;
所述掺杂元素的相应元素化合物选自钨酸、钨酸钠、钨酸钾、六氯化钨、钨酸铵、钼酸、钼酸钠、钼酸钾、钼酸铵、乙酰丙酮钼、氯化钼、四钼酸铵、氯金酸、氯化金钾、氯金酸钠、四氯化钛、钛酸四丁酯、钛酸异丙酯、偏钛酸、乙醇镁、硫酸镁、氯化镁、氟化镁、硝酸镁、柠檬酸镁、氯化铝、硝酸铝、异丙醇铝、氢氟酸、氟化钾、氟化锂和氟化钠中的一种或多种。
3.根据权利要求1或2所述的一种二氧化钒薄膜的制备方法,其特征在于:所述的非氧化性气氛选自氮气、氩气、二氧化碳、氨气中的一种或几种。
4.一种二氧化钒薄膜,为根据权利要求1或2所述的二氧化钒薄膜的制备方法制得,所述 的二氧化钒薄膜的厚度为10-1000nm,该薄膜具有金红石型结晶相,且具有10-200nm未贯穿整个膜层的微孔结构。
5.一种二氧化钒薄膜,为根据权利要求3所述的二氧化钒薄膜的制备方法制得,所述的二氧化钒薄膜的厚度为10-1000nm,该薄膜具有金红石型结晶相,且具有10-200nm未贯穿整个膜层的微孔结构。
6.一种根据权利要求4所述的二氧化钒薄膜在智能温控涂层中的应用。
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