[发明专利]一种有机光电子器件的封装装置及其封装方法无效
申请号: | 201010127080.9 | 申请日: | 2010-03-18 |
公开(公告)号: | CN101807667A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 于军胜;余双江;蒋亚东;马柱 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/40;H01L51/48;H01L51/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机 光电子 器件 封装 装置 及其 方法 | ||
1.一种有机光电子器件的封装装置,其特征在于:
①包括盖板(1)、定位板(2)、压紧板(4)、位置卡紧机构(7)和封装压 紧机构(6);
②所述盖板(1)上与基片(3)的接触面上设置有基片(3)相适配的盖板 凹槽(8),所述定位板(2)设置有定位孔(9),定位孔的尺寸大小与基片(3) 一致,并与盖板凹槽(8)对应,所述定位板(2)安装在盖板(1)的上方,将 基片(3)设置有机光电子器件功能层的一侧面向盖板(1)导入定位孔(9)内 并与盖板凹槽(8)配合工作,所述压紧板(4)安装在基片(3)的上方,所述 位置卡紧机构(7)将盖板(1)、定位板(2)和压紧板(4)的相对位置固定, 在压紧板(4)上方和盖板(1)下方分别对应地安装封装压紧机构(6),通过 封装压紧机构(6)的压力使基片(3)和盖板(1)均匀紧密结合。
2.根据权利要求1所述的有机光电子器件的封装装置,其特征在于,所述 盖板凹槽内放置有除气剂(5)。
3.根据权利要求1所述的有机光电子器件的封装装置,其特征在于,所述 压紧板(4)是与基片(3)对应的单片或者与盖板(1)相对应的整片结构。
4.根据权利要求1所述的有机光电子器件的封装装置,其特征在于,所述 封装压紧机构(6)是能通过调节电流大小控制压力的电磁铁条形阵列或者矩形 阵列,并在盖板(1)下方和压紧板(4)上方一一对应,其中电磁铁条形阵列 按相同的步进排列贯穿整个面板,电磁铁矩形阵列对应于基片边缘且大小与定 位孔(9)一致。
5.根据权利要求4所述的有机光电子器件的封装装置,其特征在于,所述 电磁铁条形阵列或矩形阵列的磁芯材料是软磁材料,包括金属软磁材料、铁氧 体软磁材料、非晶微晶软磁材料和金属软磁粉芯,所述电磁铁的线圈材料是金、 银、铜、铁、铝、钨、锰、钒、钛、镍、稀土金属及其合金。
6.根据权利要求1所述的有机光电子器件的封装装置,其特征在于,位置 卡紧机构(7)的厚度大于等于所述盖板(1)、基片(3)和压紧板(4)的厚度 之和,限制盖板(1)、定位板(2)和压紧板(4)精确对位后的相对位置。
7.根据权利要求1所述的有机光电子器件的封装装置,其特征在于,所述 盖板是玻璃、有机薄膜、无机薄膜和金属箔中的一种或它们的复合体系;所述定 位板是玻璃、有机材料板和金属板中的一种或它们的复合体系;所述压紧板是玻 璃、有机材料板和金属板中的一种或它们的复合体系。
8.一种如权利要求1~7任一所述的有机光电子器件的封装装置的封装方 法,其特征在于,包括以下步骤:
①.把盖板(1)和制备有有机光电子器件功能层的基片(3)放入充满惰性 气体的手套箱中,按照基片(3)的尺寸要求在盖板(1)上涂覆紫外曝光胶, 在盖板凹槽(8)内放入除气剂(5);
②.将涂覆有紫外曝光胶的基片(3)和盖板(1)放入充满惰性气体的真空 密封系统中,并将定位板(2)放置于盖板(1)之上;
③.调节盖板(1)和定位板(2)的位置,使盖板(1)的盖板凹槽(8)和 定位板(2)的定位孔(9)相对应;
④.将基片(3)设置有机光电子器件功能层的一侧面向盖板凹槽(8)通过 定位板(2)的定位孔(9)导入盖板凹槽(8)内,使基片(1)与定位板(2) 精密对准;
⑤.根据基片(3)尺寸的大小要求采用相应的整片或单片压紧板(4),压紧 板(4)和基片(3)之间涂覆紫外曝光胶;
⑥.在盖板(1)下和压紧板(4)上对应设置封装压紧机构(6),封装压紧 机构(6)通过调节电流大小调整压力大小使各层紧密均匀结合;
⑦.进行后续封装步骤,完成整个封装流程;
⑧.测试器件的光电特性参数。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择