[发明专利]阵列型磁传感器基板

说明书

技术领域

本发明涉及在根据由薄钢板的缺陷而产生的漏磁通来检测有无缺陷的阵列型磁探伤装置等中所使用的阵列型磁传感器基板，特别是涉及容易进行阵列型磁传感器的校正的阵列型磁传感器基板。

背景技术

以前，对作为食器等的材料的马口铁等带钢(strip)(在此称作薄钢)的表层以及内部所存在的微小缺陷进行检测的检测装置，有如下的阵列型磁探伤装置：在薄钢板的宽度方向上排列多个阵列型磁传感器，从而检测由其缺陷所产生的漏磁通来判定有无缺陷。例如，有日本的专利公报、专利第3811039号公报(图1、第1页)(以下称作专利文献1)。

图3示出该阵列型磁探伤装置的磁传感器头30的结构。如图3(a)所示，在磁传感器头30中，在被压接在非磁性辊11面上而与向箭头方向搬运的薄钢板13的表面邻近的倒U字形的磁化轭铁24的开口部，与薄钢板10之间隔开规定的缝隙(在此称作离地(lift-off))，利用由磁化轭铁24和缠在磁化轭铁24上的线圈22所构成的磁化器，形成用于使薄钢板13向其移动方向磁化的磁场。

然后，在该开口部中设置霍尔元件等半导体磁传感器12和用于改善该半导体磁传感器12的灵敏度的软质磁性体14，上述半导体磁传感器12以预先设定的离地距离与薄钢板13邻近，检测在薄钢板13的缺陷部中产生的漏磁通。使来自薄钢板13的漏磁通向垂直方向集中地横穿半导体磁传感器12的感应面，以高灵敏度检测有无微小缺陷。

例如图3(b)所示，该半导体磁传感器12在薄钢板13的宽度方向上直线状地等间隔并列有多个磁传感器(元件)，以使得能够确保预先设定的宽度方向的分辨率。

为了使各个磁传感器(元件)的宽度方向的检测灵敏度均匀并确保检测缺陷的精度，定期地对该半导体磁传感器12进行校正。

在使用了这种阵列型磁传感器的磁传感器头30中，以前使用了如图4(a)所示的校正装置20。例如，有日本的公开专利公报、特开平9-229905号公报(图1、第1页)(以下称作专利文献2)。

在该校正装置20中，在校正半导体磁传感器12的情况下，使非磁性辊11a的接线面与半导体磁传感器12的排列方向对置地配置，在该非磁性辊11a的对置的表面上缠绕导线11b，对该导线施加电流发生器15的产生的电流，使之产生规定的磁场。

然后，在该状态下驱动与非磁性辊11a连结的马达11b，从而如图4(b)所示地使非磁性辊11a旋转，将基于所施加的电流的该磁场作为基准磁场来进行半导体磁传感器12的校正。

但是，在专利文献2中示出的校正中，由于使导线11b与半导体磁传感器12的列相对，因此，来自导线的磁场变得与半导体磁传感器12的感磁面平行。

因此，在要使用垂直于半导体磁传感器12的感磁面的磁场来校正检测灵敏度的情况下，具有不能对半导体磁传感器12赋予实际使用的垂直方向的磁场的问题，另外还具有要准备大型的旋转辊等，校正装置11成为大规模的问题。(以后，将半导体磁传感器12称作阵列型磁传感器)。

因此，已公开了这样一种阵列型磁传感器的校正方法，在对排列有一个或多个具有多个阵列型传感器的列的阵列型磁传感器进行校正的情况下，在由阵列型磁传感器列的中心线和阵列型磁传感器的感磁面的法线所构成的平面上以外的位置上，将导体平行于阵列型磁传感器列进行配置，使规定电流流过该导体以使之产生磁场，使用该磁场作为基准磁场。例如，有日本的公开专利公报、特开2005-61940号公报(图1、第1页)(以下称作专利文献3)。

但是，在专利文献3中的校正装置中，虽然能够对磁传感器的感磁面高效地施加垂直磁化，但是具有不能进行对于薄钢板的微小缺陷的动态检测灵敏度、即薄钢板的移动状态中的检测灵敏度的校正的问题。

因此，在要对各个磁传感器的微小缺陷的动态(薄钢板的最大移动速度下的)检测灵敏度进行校正的情况下，还是存在有需要如专利文献2所示的大型校正装置的问题。