[发明专利]化合物和化学放大型正性抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种由式(I)表示的化合物：

其中R¹表示氢原子，氟原子，C1-C4直链或支链烷基或C1-C4氟化直链或支链烷基，R²和R³各自独立地表示氢原子或C1-C4直链或支链烷基，R⁴表示C1-C8二价烃基，R⁵表示单键，C1-C4二价烃基或羰基，并且R⁶表示未取代或取代的C6-C20芳族烃基。

2.根据权利要求1所述的化合物，其中R⁶中的所述未取代或取代的C6-C20芳族烃基是苯基、萘基、蒽基或菲基，并且所述苯基、所述萘基、所述蒽基和所述菲基可以含有C1-C6直链或支链烷基或C1-C6直链或支链烷氧基。

3.根据权利要求1所述的化合物，其中R⁶中的所述未取代或取代的C6-C20芳族烃基是可以含有C1-C6直链或支链烷基或C1-C6直链或支链烷氧基的蒽基。

4.根据权利要求3所述的化合物，其中所述蒽基是9-蒽基。

5.一种聚合物，所述聚合物包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元：

其中R¹表示氢原子，氟原子，C1-C4直链或支链烷基或C1-C4氟化直链或支链烷基，R²和R³各自独立地表示氢原子或C1-C4直链或支链烷基，R⁴表示C1-C8二价烃基，R⁵表示单键，C1-C4二价烃基或羰基，并且R⁶表示未取代或取代的C6-C20芳族烃基。

6.根据权利要求5所述的聚合物，其中R⁶中的所述未取代或取代的C6-C20芳族烃基是苯基、萘基、蒽基或菲基，并且所述苯基、所述萘基、所述蒽基和所述菲基可以含有C1-C6直链或支链烷基或C1-C6直链或支链烷氧基。

7.根据权利要求5所述的聚合物，其中所述聚合物还包含衍生自含有一个或多个酚式羟基的苯乙烯的结构单元。

8.根据权利要求7所述的聚合物，其中所述衍生自含有一个或多个酚式羟基的苯乙烯的结构单元是由式(II)表示的结构单元：

其中R⁴¹表示氢原子，氟原子，C1-C4直链或支链烷基或C1-C4氟化直链或支链烷基，R⁴²，R⁴³，R⁴⁴，R⁴⁵和R⁴⁶各自独立地表示氢原子，羟基或C1-C4直链或支链烷基，条件是R⁴²至R⁴⁶中的1至3个基团是羟基，并且R⁴²至R⁴⁶中的0至2个基团是C1-C4直链或支链烷基。

9.根据权利要求5或7中任何一项所述的聚合物，其中所述聚合物还包含：在其侧链含有酸不稳定基团的结构单元。

10.根据权利要求9所述的聚合物，其中所述在其侧链含有酸不稳定基团的结构单元是由式(III)表示的结构单元：

其中R⁴⁷表示氢原子，氟原子，C1-C4直链或支链烷基或C1-C4氟化直链或支链烷基，并且R⁴⁸表示由下式表示的基团：

R⁵⁰，R⁵¹和R⁵²各自独立地表示C1-C6烷基或C3-C12脂环族烃基，并且R⁵¹和R⁵²可以结合以形成可以被取代的C3-C20环状烃基。

11.根据权利要求7或9所述的聚合物，其中所述由式(I)表示的结构单元的含量是0.1至50摩尔/100摩尔的所有结构单元。

12.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，所述的化学放大型正性抗蚀剂组合物包含根据权利要求5至11中任何一项的聚合物、至少一种酸生成剂和至少一种溶剂。