[发明专利]气浴控温装置及方法无效
申请号: | 201010128874.7 | 申请日: | 2010-03-19 |
公开(公告)号: | CN102193565A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 龚岳俊;杨志斌;江家玮;余斌;余小虎 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05D23/00 | 分类号: | G05D23/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气浴控温 装置 方法 | ||
1.一种气浴控温装置,包括:
气浴板;
进风口,和每个所述气浴板相连;
其特征在于:
所述气浴控温装置还包括第一气帘和第二气帘,所述第一气帘和所述第二气帘相互垂直放置,且位于所述孔板的同侧。
2.根据权利要求1所述的气浴控温装置,其特征在于:所述气浴板、所述第一气帘和所述第二气帘上均固定一孔板。
3.根据权利要求1所述的气浴控温装置,其特征在于:所述气浴控温装置还包括多个稳压腔,所述稳压腔位于所述气浴板上。
4.根据权利要求1所述的气浴控温装置,其特征在于:所述气浴板的厚度介于5mm至50mm之间。
5.根据权利要求3所述的气浴控温装置,其特征在于:所述气浴板的厚度为5mm、10mm、25mm、40mm或50mm。
6.根据权利要求1所述的气浴控温装置,其特征在于:所述气浴控温装置还包括一固定装置,所述固定装置由多个支撑体组成,每个所述支撑体均和所述气浴板相连。
7.根据权利要求1所述的气浴控温装置,其特征在于:所述气浴板的材料为铝合金。
8.根据权利要求1所述的气浴控温装置,其特征在于:所述第一气帘包括第一调节手柄和第一导流风片,所述第一调节手柄和所述第一导流风片相连。
9.根据权利要求1所述的气浴控温装置,其特征在于:所述第二气帘包括第二调节手柄和第二导流风片,所述第二调节手柄和所述第二导流风片相连。
10.一种气浴控温方法,包括以下步骤:
控温气体通过进风口进入气浴板;
其特征在于:
所述方法还包括:所述控温气体从所述气浴板流出后,一部分所述控温气体直接作用于控温对象,另一部分所述控温气体经第一气帘和第二气帘流出后作用于所述控温对象,所述第一气帘和所述第二气帘相互垂直放置,且位于所述孔板的同侧。
11.根据权利要求10所述的气浴控温方法,其特征在于:所述气浴板、所述第一气帘和所述第二气帘上均固定一孔板。
12.根据权利要求10所述的气浴控温方法,其特征在于:所述控温气体先经过所述气浴板上的多个稳压腔后,再进入所述气浴板。
13.根据权利要求10所述的气浴控温方法,其特征在于:所述第一气帘包括第一调节手柄和第一导流风片,所述第一调节手柄和所述第一导流风片相连。
14.根据权利要求10所述的气浴控温方法,其特征在于:所述第二气帘包括第二调节手柄和第二导流风片,所述第二调节手柄和所述第二导流风片相连。
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