[发明专利]偏光转换装置有效
| 申请号： | 201010128876.6 | 申请日： | 2006-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101866058A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 谷津修;广田弘之;重松幸二;栗田信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 偏光 转换 装置 | ||
1.一种偏光转换装置，使用于根据来自光源的光对被照射面进行照明的照明光学装置，其特征在于：
具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的可变旋光构件；
所述可变旋光构件具有：由具有旋光性的光学材料所形成的第1旋光元件以及由具有旋光性的光学材料所形成的第2旋光元件；
所述第1旋光元件与所述第2旋光元件可沿与所述照明光学装置的光轴交叉的方向相对地进行移动。
2.如权利要求1所述的偏光转换装置，其特征在于：所述第1旋光元件与所述第2旋光元件分别具有偏角棱镜。
3.如权利要求2所述的偏光转换装置，其特征在于：所述2个偏角棱镜以所述具有旋光性的光学材料的结晶光学轴与所述光轴大致平行的形态进行配置。
4.如权利要求3所述的偏光转换装置，其特征在于：所述2个偏角棱镜具有彼此互补的楔形的断面形状。
5.如权利要求1至4中任一项所述的偏光转换装置，其特征在于：具有多个所述可变旋光构件。
6.如权利要求5所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变旋光构件沿着横切所述照明光学装置的光轴的面进行配置。
7.如权利要求6所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变旋光构件，沿以所述照明光学装置的光轴为中心的圆的圆周方向进行配置。
8.如权利要求7所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变旋光构件的所述第1旋光元件，具有大致的扇形形状。
9.如权利要求8所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变旋光构件的所述第2旋光元件，具有大致的扇形形状。
10.如权利要求1至4中任一项所述的偏光转换装置，其特征在于：更具有用于对入射光和射出光之间可变地赋予相位差的可变相位差构件。
11.如权利要求10所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变相位差构件的每一个，具有以与所述照明光学装置的光轴大致平行的轴线为中心而旋转自如地构成的巴俾涅补偿器或索累补偿器。
12.如权利要求10所述的偏光转换装置，其特征在于：所述可变旋光构件与所述可变相位差构件邻接。
13.如权利要求10所述的偏光转换装置，其特征在于：自光的入射侧起始，以所述可变旋光构件、所述可变相位差构件的顺序进行配置。
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