[发明专利]光束照射装置

权利要求书

1.一种光束照射装置，具备：

激光光源，其出射激光；

传动装置，其使所述激光在目标区域扫描；

伺服光学系统，其发出伺服光并且随着所述传动装置的驱动使所述伺服光的行进方向变化；

光检测器，其接受所述伺服光并输出与受光位置相应的检测信号；

信号处理部，其基于所述检测信号生成位置检测信号；和

控制部，其基于所述位置检测信号，控制所述激光光源和所述传动装置，

该光束照射装置的特征在于，所述信号处理部具有：

差分取得部，其取得在连续的两个采样时刻采样所述检测信号后的两个采样值的差分；

第一A/D变换部，其将所述差分变换为数字信号；和

第一运算部，其基于在所述第一A/D变换部中被变换为数字信号后的所述差分，对所述位置检测信号进行运算。

2.根据权利要求1所述的光束照射装置，其特征在于，

所述信号处理部具备：

第二A/D变换部，其将在规定的采样时刻采样所述检测信号后的采样值变换为数字信号；

第二运算部，其基于在所述第二A/D变换部被变换为数字信号后的所述采样值，对所述位置检测信号进行运算；和

选择部，其将由所述第一运算部和所述第二运算部中的其中一方运算后的所述位置检测信号提供给所述控制部，

所述选择部在所述激光正在扫描所述目标区域时将由所述第一运算部运算后的所述位置检测信号提供给所述控制部。

3.根据权利要求2所述的光束照射装置，其特征在于，

所述选择部在所述激光正在扫描所述目标区域时，若所述差分超过被设定为所述第一A/D变换部的容许变换范围的最大值以下的阈值，则将由所述第二运算部运算后的所述位置检测信号提供给所述控制部。

4.根据权利要求2或3所述的光束照射装置，其特征在于，

所述光束照射装置还具备：

位置检测部，其检测所述传动装置的驱动位置是否处于参考位置；和

误差检测部，其求取检测出所述驱动位置位于所述参考位置时的所述检测信号的采样值和其理想值的差分，以作为误差成分，

所述第二运算部基于从所述采样值中去除所述误差成分后的信号值，对所述位置检测信号进行运算。

5.根据权利要求4所述的光束照射装置，其特征在于，

所述位置检测部具备：

受光元件，其接受所述伺服光的一部分，以作为位置检测光；和

光学元件，其在所述传动装置处于所述参考位置时使所述位置检测光入射到所述受光元件。