[发明专利]固态图像拾取装置及其制造方法和图像拾取装置

权利要求书

1.一种固态图像拾取装置，包括：

衬底，提供有由多个像素组成的像素阵列部分，每个像素具有光电转换器，所述光电转换器将入射光转换为电信号；

布线层，包括多条布线和覆盖所述多条布线的绝缘层，所述多条布线被层压在所述衬底之上；以及

波导，用于将光引导到所述多个像素的光电转换器的每个，所述波导被形成在所述布线层中，所述波导被形成为具有光从其离开所述波导的波导出口端，使得在由所述波导引导的光的波长更长时，所述波导出口端和接收来自所述波导的光的光电转换器的表面之间的距离变得更短。

2.根据权利要求1所述的固态图像拾取装置，

其中所述波导包括用于第一颜色、第二颜色和第三颜色的像素的波导，所述第一颜色、所述第二颜色和所述第三颜色按该顺序具有变短的波长，以及

其中，将在用于所述第一颜色的像素的波导的波导出口端和光电转换器的表面之间的距离设置为比在用于所述第二颜色的像素的波导的波导出口端和光电转换器的表面之间的距离短，以及将在用于所述第二颜色的像素的波导的波导出口端和光电转换器的表面之间的距离设置为比在用于所述第三颜色的像素的波导的波导出口端和光电转换器的表面之间的距离短。

3.根据权利要求1所述的固态图像拾取装置，

其中所述波导包括红色像素波导、绿色像素波导和蓝色像素波导，以及

其中将所述红色像素波导的波导出口端和光电转换器的表面之间的距离设置为比所述绿色像素波导的波导出口端和光电转换器的表面之间的距离短，以及将所述绿色像素波导的波导出口端和光电转换器的表面之间的距离设置为比所述蓝色像素波导的波导出口端和光电转换器的表面之间的距离短。

4.根据权利要求1所述的固态图像拾取装置，

其中由每个波导引导的光的波长与波导出口端和光电转换器的表面之间的距离成反比。

5.根据权利要求1所述的固态图像拾取装置，还包括：

微透镜，用于将入射光通过颜色滤波器引导到每个波导的光入射侧。

6.一种固态图像拾取装置，包括：

衬底，提供有由具有光电转换器的多个像素组成的像素阵列部分，所述光电转换器将入射光转换为电信号并具有相同的高度；

布线层，包括多条布线和覆盖所述多条布线的绝缘层，所述多条布线被层压在所述衬底之上；以及

波导，用于将光引导到所述多个像素的光电转换器的每个，所述波导被形成在所述布线层中，所述波导包括多个波导，所述多个波导的光入射端具有相同的高度，并且在由所述多个波导引导的光的波长更长时，所述多个波导的深度被设置得更深。

7.一种制造固态图像拾取装置的方法，包括：

在衬底上形成由多个像素组成的像素阵列部分，每个像素具有将入射光转换为电信号的光电转换器；

在所述衬底之上形成包括多层布线和覆盖所述布线的绝缘层的布线层；以及

在所述布线层中形成将光引导到所述多个像素的每个的光电转换器的波导，

其中，所述波导被形成为具有光从其离开所述波导的波导出口端，使得在由所述波导引导的光的波长更长时，所述波导出口端和接收来自所述波导的光的光电转换器的表面之间的距离变得更短。

8.根据权利要求7所述的制造固态图像拾取装置的方法，还包括：

在在所述绝缘层中形成蚀刻终止层使得将蚀刻终止层的每个的表面设置在定义从光电转换器的表面到所述波导的下表面的高度的位置处的状态中，通过蚀刻所述绝缘层直到蚀刻终止层的预定一个来形成波导孔；以及

通过将波导材料填充在所述波导孔中来形成波导。

9.根据权利要求7所述的制造固态图像拾取装置的方法，还包括：

在于所述绝缘层中形成蚀刻终止层使得将蚀刻终止层的每个的底面设置在定义从光电转换器的表面到所述波导的下表面的高度的位置处的状态中，通过蚀刻所述绝缘层直到蚀刻终止层的预定一个并且蚀刻该蚀刻终止层来形成波导孔；以及

通过将波导材料填充在所述波导孔中来形成波导。

10.根据权利要求9所述的制造固态图像拾取装置的方法，

其中由与所述布线层中形成的布线相同的层形成的虚拟图案来形成每个蚀刻终止层。