[发明专利]挡板冷却装置

权利要求书

1.一种挡板冷却装置，适用于与冷却介质配合使用，所述挡板通过旋转轴悬设于提供真空环境的真空腔体内并位于蒸发源与待镀基板之间，所述旋转轴的上端与所述挡板固定连接，所述旋转轴的下端穿过所述真空腔体并与真空腔体外的传动机构固定连接，所述旋转轴与所述真空腔体之间设有动密封组件，所述动密封组件套设于所述旋转轴上并与所述旋转轴枢接，其特征在于，所述挡板冷却装置包括：连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口，所述挡板通过所述连接座与所述旋转轴固定连接，所述连接件套设于所述旋转轴位于真空腔体外的端部上，所述连接件的上端与所述旋转轴枢接，所述连接件的下端与所述输入接口固定连接，所述输入接口与所述输出接口固定连接并位于所述连接件与输出接口之间，所述旋转轴、连接件、输入接口及输出接口均沿所述旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成所述冷却腔，所述输出管悬于所述冷却腔内并贯穿所述旋转轴、连接件、输入接口，所述输出管位于腔体外的末端与所述输出接口固定连接，所述冷却管铺设于所述挡板上，所述冷却管具有输入端与输出端，所述冷却管的输入端与所述冷却腔连通，所述冷却管的输出端与所述输出管连通，所述输入接口与所述冷却腔连通，所述输出接口与所述输出管连通。

2.如权利要求1所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述连接座包括上连接座与下连接座，所述上连接座与所述挡板固定连接，所述下连接座与所述旋转轴的上端固定连接，所述上连接座与所述下连接座通过螺钉固定连接，所述上连接座与所述下连接座之间设有第一密封圈，所述上连接座上开设有上空腔，所述下连接座上开设有下空腔，所述输出管位于真空腔体内的端部容置于所述上空腔内，所述输出管与所述上空腔之间设有第二密封圈，所述上空腔与所述下空腔连通，所述上空腔分别连通所述冷却管的输出端及所述输出管，所述下空腔分别连通所述冷却管的输入端及所述冷却腔。

3.如权利要求2所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述下连接座与所述旋转轴之间还设有中空的旋转管，所述旋转管的上端与所述上连接座固定连接，所述旋转管的下端与所述旋转轴固定连接，所述输出管贯穿所述旋转管。

4.如权利要求1所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述挡板的表面对应所述冷却管开设有凹槽，所述冷却管容置于所述凹槽中。

5.如权利要求4所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述冷却管为圆形管，所述凹槽为弧形凹槽。

6.如权利要求4所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述冷却管为矩形管，所述凹槽为矩形凹槽。

7.如权利要求1所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述冷却介质为冷水。

8.如权利要求1所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述传动机构为齿轮，所述齿轮固定在所述旋转轴上并位于所述动密封组件与连接件之间。

9.如权利要求1所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述冷却管为金属管。

10.如权利要求1所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述挡板包括上表面与下表面，所述下表面与所述蒸发源相对，所述冷却管铺设于所述挡板的上表面上。

11.如权利要求10所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述挡板的下表面为磨砂面。

12.如权利要求1所述的挡板冷却装置，其特征在于，所述连接件与所述旋转轴之间设有第三密封圈。