[发明专利]密封式输电装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种输电装置，尤其涉及一种适用于向真空腔体输电的密封式输电装置。

背景技术

输电装置广泛地运用于各种需要电源供给的密封空间或真空系统中，如半导体领域的成膜、封装工序等。

例如，随着有机半导体技术的深入研究，有机器件的应用越来越广泛，如有机电致发光器件(OLED)。OLED的制备离不开有机薄膜的生成，而现有技术中最成熟的技术是通过蒸镀技术来完成有机薄膜的制备。在使用真空蒸镀制备薄膜时，三类加热蒸发源如电阻加热蒸发源、电子束加热蒸发源和感应加热蒸发源通常被用于加热和蒸发材料。上述各种蒸发源的使用均需要电源的提供，因此，各种用于向真空腔体内输电的密封式输电装置应运而生。

随着真空蒸镀技术的发展，对于用于上述真空蒸镀系统的输电装置的要求越来越高。不仅要求其密封性能要好，还要求其安全性能要高且力求结构简单。然而，现有的输电装置无法全面地满足上述的各个功能和要求。

因此，急需一种结构简单、密封性能较好且安全性能较高的密封式输电装置以解决上述现有技术中的缺陷。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种密封式输电装置，该密封式输电装置结构简单、密封性较好且安全性较高。

为了实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种密封式输电装置，适用于安装在真空腔体上以对所述真空腔体的内部供电，所述密封式输电装置包括绝缘体和导电体，所述绝缘体包括主绝缘体及由所述主绝缘体下端向外侧延伸而成的绝缘体凸台，所述导电体包括主导电体及从所述主导电体向外延伸而成的导电体凸台，所述真空腔体上开设有绝缘体安装孔，所述绝缘体上开设有导电体安装孔，所述绝缘体安装于所述绝缘体安装孔上并紧贴所述绝缘体安装孔的内壁，所述导电体套于所述导电体安装孔内并紧贴所述导电体安装孔的内壁，所述绝缘体凸台和所述导电体凸台通过紧固螺钉紧密地固定于所述真空腔体上。

与现有技术相比，由于本发明密封式输电装置包括了起导电作用的导电体和起绝缘作用的绝缘体，绝缘体将导电体与真空腔体充分隔离，以确保安全性，而通过简单的凸台结构的设计实现了导电体和绝缘体与真空腔体的紧密结合，从而保证了密封式输电装置的密封性。因此，本发明密封式输电装置结构简单，在确保导电性的同时提高了密封性和安全性。

较佳地，所述密封式输电装置还包括绝缘环，所述导电体凸台上开设有绝缘环安装孔，所述绝缘环包括主绝缘环及从所述主绝缘环末端向外侧延伸而成的绝缘环凸台，所述主绝缘环安装于所述绝缘环安装孔上，所述绝缘环凸台与所述导电体凸台相抵靠，所述紧固螺钉贯穿所述绝缘环和所述绝缘体凸台并固定于所述真空腔体上。绝缘环的设置既可以隔离紧固螺钉和导电体凸台的连接，又可以很好的压紧导电体凸台。

较佳地，所述绝缘环凸台和所述紧固螺钉的钉帽之间设置有垫圈。垫圈的选用，可以防止紧固螺钉将绝缘环凸台拧坏。

较佳地，所述导电体的两端均固定有压线螺钉，使得输电线与导电体连接时可紧压在导电体上以防止接触不良，从而提高输电性能。

较佳地，所述密封式输电装置还包括内绝缘盖，所述内绝缘盖上开设有电线穿孔，所述内绝缘盖位于所述真空腔体内并固定于所述绝缘体上。此外，所述密封式输电装置还包括外绝缘盖，所述外绝缘盖上开设有电线穿孔，所述上绝缘盖位于所述真空腔体外并固定于所述导电体上。所述内绝缘盖和外绝缘盖的设置均是为了避免输电线与导电体连接处外漏，从而防止接触不良事故和漏电事故的发生以提高所述密封式输电装置的安全性能。

较佳地，所述密封式输电装置还包括第一密封圈和第二密封圈，所述绝缘体凸台上与所述真空腔体相对的表面上开设第一密封槽，与所述导电体凸台相对的表面上开设第二密封槽，所述第一密封圈套于所述第一密封槽上，所述第二密封圈套于所述第二密封槽上，以进一步保证本发明密封式输电装置对于真空腔体的密封性能。

较佳地，所述密封式输电装置还包括绝缘圈，所述绝缘圈套设于所述绝缘体凸台及所述导电体凸台的外侧，以进一步提高本发明密封式输电装置的绝缘性和安全性。

附图说明

图1是本发明密封式输电装置安装于一真空腔体时的结构示意图。

图2是图1所示结构示意图中A部分的放大图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。