[发明专利]一种纳米级尺寸结构测量方法及装置

权利要求书

1.一种纳米级尺寸结构测量方法，其特征在于：

第1步　白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面，投射到样件表面的线性偏振光束波长为400~600nm；

第２步　投射光束经样件表面反射，利用置于样件共轭面上的电荷耦合器接收该反射信号，计算得到纳米级尺寸结构的显微成像图；

第３步　将样件在最佳焦平面附近垂直移动，得到不同离焦位置的纳米级尺寸结构的显微成像图；

第４步　将各离焦位置的显微成像图按离焦量进行组合，得到该纳米级尺寸结构的测量离焦扫描成像分布图；

第５步　对不同类型的纳米级尺寸结构进行仿真，得到纳米级尺寸结构对应的理论离焦扫描成像分布图；

第６步　将测量离焦扫描成像分布图与理论离焦扫描成像分布图进行匹配，提取得到待测纳米级尺寸结构的几何参数值。

2.一种实现权利要求1所述纳米级尺寸结构测量方法的装置，其特征在于：

该装置包括白光光源（11），彩色滤光片（12），偏振片（13），小孔光阑（14），视场透镜（15），分光镜（16），第一物镜（17），纳米级垂直平移台（19），第二物镜（20），平面反射镜（21），图像采集卡（22），计算机（23）以及运动控制器（24）；

白光光源（11），彩色滤光片（12），偏振片（13），小孔光阑（14），视场透镜（15），分光镜（16），第一物镜（17）依次位于同一光路上，纳米级垂直平移台（19）位于第一物镜（17）的出射光路上，光束经第一物镜（17）汇聚后垂直投射到纳米级垂直平移台上；第二物镜（20）与第一物镜（17）相对于分光镜（16）的反射点对称放置，平面反射镜（21）位于第二物镜（20）出射光路上，图像采集卡（22）位于平面反射镜（21）出射光路上，计算机（23）分别与图像采集卡（22）和运动控制器（24）相连，运动控制器（24）与纳米级垂直平移台（19）相连，控制纳米级垂直平移台（19）运动。