[发明专利]干涉系统的测量方法

权利要求书

1.一种干涉系统的测量方法，用以于一干涉系统沿一垂直扫描路径对一待测物进行一垂直扫描，并在该垂直扫描路径的多个扫描高度依序分别产生多张干涉影像后，藉以利用这些干涉影像以产生一二维形貌图像，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(a)对各干涉影像中的每一个像素点取样，以得到该干涉影像的一干涉区域面积，并利用该干涉影像所对应的该扫描高度与该干涉区域面积建立一高度-干涉面积对应比信息；

(b)利用该高度-干涉面积对应比信息，在这些干涉影像所对应的这些干涉区域面积中撷取一相对峰值，藉以撷取该相对峰值所对应的该扫描高度，并将其定义为一特征高度；以及

(c)撷取该特征高度与邻近该特征高度上下各一第一预定张数的干涉影像进行一数值处理，以产生该二维形貌图像。

2.根据权利要求1所述的干涉系统的测量方法，其特征在于，该数值处理为一影像叠加处理。

3.根据权利要求1所述的干涉系统的测量方法，其特征在于，该高度-干涉面积对应比信息用以记载于各扫描高度下，所对应的干涉影像中的该干涉区域面积所占的面积百分比。

4.根据权利要求1所述的干涉系统的测量方法，其特征在于，当该干涉系统沿该垂直扫描路径对该待测物进行该垂直扫描时，于该垂直扫描路径的一干涉波包的范围内产生一第二预定张数的干涉影像。

5.根据权利要求1所述的干涉系统的测量方法，其特征在于，该第一预定张数相等于一半的该第二预定张数。

6.一种干涉系统的测量方法，用以于一干涉系统沿一垂直扫描路径对一待测物进行一垂直扫描，并在该垂直扫描路径的多个扫描高度依序分别产生多张干涉影像后，藉以利用这些干涉影像以产生一二维形貌图像，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(d)对各干涉影像中的每一个像素点取样，以得到该干涉影像的一干涉区域面积，并利用该干涉影像所对应的该扫描高度与该干涉区域面积建立一高度-干涉面积对应比信息；

(e)利用该高度-干涉面积对应比信息，在这些干涉影像所对应的这些干涉区域面积中撷取至少二相对峰值，藉以撷取这些相对峰值所对应的这些扫描高度，并将其定义为至少二特征高度；以及

(f)撷取这些特征高度与邻近这些特征高度上下各一第一预定张数的干涉影像进行叠加，以产生该二维形貌图像。