[发明专利]垂直式探针卡

说明书

技术领域

本发明是有关于一种垂直式探针卡，特别是一种应用垂直式探针的垂直式探针卡。

背景技术

集成电路(IC)在应用前，需要经过测试来验证其功能的完整性。集成电路的测试大都在晶片封装前、封装后和在焊接在线路板后进行。

在晶片上测试集成电路的步骤大致上包含：利用探针卡(Probe Card)接触集成电路上的焊垫、从探针卡输入电信号到集成电路、接收集成电路输出的电信号。集成电路输出的电信号为对输入信号的响应，输入探针卡和集成电路的电信号一般由信号发生器(例如：自动测试机)所产生。透过编写程序，自动测试机比对从集成电路输出的信号是否符合预设的条件，以决定此集成电路是否合格，然后选择合格者进行封装。

在晶片测试的过程中，探针卡的探针是直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片信号，之后再配合周边测试仪器与软件控制，来达到自动化量测的目的。由于探针卡是晶片测试中不可或缺的重要装置，因此，在集成电路的制造过程中，探针卡的优劣会直接影响到晶片测试步骤的准确性和流畅性，进而影响到集成电路的制造成本。

发明内容

因此，本发明的一目的是在提供一种垂直式探针卡，可避免掀针情况的发生，进而增进晶片测试步骤的流畅性。

根据本发明的一实施例，此垂直式探针卡包含探针持体和探针。此探针持体包含下导板、上导板、辅助固定片和支撑装置。下导板具有第一凹陷部，此第一凹陷部具有多个第一贯穿孔。上导板具有第二凹陷部，此第二凹陷部具有多个第二贯穿孔。上导板设置于下导板上，如此可使第一凹陷部和第二凹陷部形成容置空间。辅助固定片设置于容置空间中，且具有多个固定孔和多个定位孔。支撑装置设置于下导板上，用以支撑辅助固定片。探针穿设于探针持体中，其中每一根探针穿设于第一贯穿孔的一个、第二贯穿孔的一个和固定孔的一个中，以使探针持体支撑探针。

在本发明中，每一该些探针具有一弧状延伸部和两接触端部，该弧状延伸部位于该两接触端部之间，该两接触端部的一个穿设于该下导板的该些第一贯穿孔中，该两接触端部的另一个穿设于该上导板的该些第二贯穿孔中。

在本发明中，该支撑装置包含多个支撑架，用以贯穿该辅助固定片的多个定位孔，以支撑该辅助固定片。

在本发明中，每一该些支撑架具有两个止动部和位于该两止动部间的一滑动部，该滑动部穿设于该定位孔中，以使该辅助固定片于该两止动部间滑动。

在本发明中，该定位孔包含一嵌合部，该滑动部的外形与该嵌合部配合。

在本发明中，所述的垂直式探针卡还包含多个扣环，其中每一该些支撑架具有平行设置的两环状沟槽，用以供该些扣环来卡合于该支撑架上，以使该辅助固定片夹设于该些扣环之间。较佳的，该些扣环为C型扣环。

在本发明中，该辅助固定片为麦拉片。该些探针为垂直式探针。

在本发明中，所述的垂直式探针卡还包含一垫片，设置于该上导板和该下导板间，其中该垫片具有一第三贯穿孔，用以与该第一凹陷部和该第二凹陷部形成该容置空间。

本发明的垂直式探针卡，可避免掀针情况的发生，进而增进晶片测试步骤的流畅性。

附图说明

为让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，上文特举一较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下：

图1是绘示根据本发明一实施例的探针卡100的剖面结构示意图；

图2是绘示根据本发明一实施例的探针持体的剖面爆炸图；

图3a是绘示根据本发明一实施例的辅助固定片的结构示意图；

图3b是绘示根据本发明一实施例的辅助固定片与支撑装置的结合示意图；

图4是绘示根据本发明一实施例的探针的结构示意图；

图5是绘示绘示根据本发明另一实施例的探针卡的剖面结构示意图；

图6是绘示绘示根据本发明另一实施例的辅助固定片的结构示意图；

图7是绘示根据本发明另一实施例的支撑架的剖面结构示意图；

图8是绘示根据本发明另一实施例的辅助固定片与支撑装置的结合示意图；

图9是绘示根据本发明又一实施例的探针卡的剖面结构示意图；

图10是绘示根据本发明又一实施例的辅助固定片的结构示意图；

图11是绘示根据本发明又一实施例的支撑装置的剖面结构示意图；

图12是绘示根据本发明又一实施例的辅助固定片与支撑装置的结合示意图。

【主要组件符号说明】

100：探针卡               110：探针

110a：接触端部            110b：弧状延伸部