[发明专利]半导体结构无效
申请号: | 201010134800.4 | 申请日: | 2010-03-01 |
公开(公告)号: | CN102194803A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 沈更新 | 申请(专利权)人: | 南茂科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/00 | 分类号: | H01L25/00;H01L23/485;H01L23/34;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 任永武 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 结构 | ||
1.一种半导体结构,其特征在于,包含:
具有一封装阵列的一基板,其中所述封装阵列具有多个接垫及一保护层,这些接垫是暴露于所述保护层之外并以阵列方式排列;
一非导电层覆盖所述基板及所述封装阵列,具有多个通孔,以暴露出这些接垫;
多个芯片,借助所述非导电层黏结至所述基板的所述封装阵列上,其中各所述芯片包含一有源面、多个焊垫及多个复合凸块,这些焊垫形成于所述有源面上,这些复合凸块形成于这些焊垫上,且各所述复合凸块对应各所述通孔电性连接至各所述接垫;
一封胶材覆盖所述基板上的这些芯片;以及
一金属板位于这些芯片的所述封胶材上。
2.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,各所述复合凸块是由一结线凸块组成。
3.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,各所述复合凸块还包含:
一下金属层;
一第一导体层位于所述下金属层上;以及
一第二导体层位于所述第一导体层上。
4.根据权利要求3所述的半导体结构,其特征在于,所述第二导体层的材料是选自由下列材料所组成的一群组:金、铜、银、锡、锌、铟及其组合。
5.根据权利要求3所述的半导体结构,其特征在于,所述第一导体层的材料是选自由下列材料所组成的一群组:铜、镍、铝、锌及其组合。
6.根据权利要求3所述的半导体结构,其特征在于,所述复合凸块还包含:
一覆盖导体层,覆盖所述第二导体层、所述第一导体层以及所述下金属层。
7.根据权利要求6所述的半导体结构,其特征在于,所述覆盖导体层的材料是金。
8.根据权利要求3所述的半导体结构,其特征在于,各所述复合凸块还包含:一阻障层,位于所述第一导体层与所述第二导体层间,所述阻障层的材料为镍。
9.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,所述封装阵列的各行、列数不小于2。
10.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,所述非导电层黏结至所述基板后为一半固化的胶层。
11.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,所述封胶材是预先形成于所述金属板上。
12.如请求1所述的半导体结构,其特征在于,所述金属板上具有多个图案化开孔。
13.根据权利要求12所述的半导体结构,其特征在于,所述金属板上的这些开孔是一网状排列。
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