[发明专利]一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置，它包括外部高压电源(13)、激发螺旋波等离子体的天线(4)、绝缘电介质管(5)、高真空腔体(1)、线圈(2)、辅助线圈(3)，绝缘电介质管和高真空腔体分别设置馈入反应气体的进气孔(8)和进气控制装置(9)、环形喷嘴(7)和加热器(6)，其特征在于：在外部高压电源(13)和激发螺旋波等离子体的天线(4)之回连接有自激振荡电路(10)；

所述的自激振荡电路(10)由反馈回路(14)、灯丝电源(15)、振荡槽路(16)组成，外部高压电源(13)的输出端连接振荡槽路(16)，振荡槽路(16)的输出端连接天线(4)线圈，在外部高压电源(13)和振荡槽路(16)之间连接有反馈电路(14)，灯丝电源(15)连接到振荡槽路(16)中。

2.根据权利要求1所述的螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于：振荡槽路(16)由振荡管G、扼流圈ZL、电感L、可调电阻W、电阻R、电容C1、C2、C3、C4、C5、C6组成，振荡管的阴极接灯丝电源(15)，阳极接在外部高压电源(13)与天线(4)的连接线路上，栅极接电感L、电阻R、电容C3、C4、C5组成的耦合电路，在高压电源(13)与天线(4)的连接线路上还串联有高频扼流圈ZL、隔直电容C1，可变电容C2与天线(4)相并联。