[发明专利]角反射体动镜干涉仪无效
| 申请号： | 201010136881.1 | 申请日： | 2010-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101806624A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 杨庆华;赵葆常;汶德胜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 体动镜 干涉仪 | ||
1.一种角反射体动镜干涉仪，其特征在于：所述角反射体动镜干涉仪包括分束器、平面反射镜、双面反射镜、角反射体动镜、角反射体动镜驱动系统以及探测收集系统；所述分束器将入射光分为反射光以及透射光；所述平面反射镜设置于一光路上，所述角反射体动镜设置于另一光路上；所述角反射体动镜驱动系统驱动角反射体动镜；所面反射镜设置于平面反射镜和角反射体动镜的反射光路上；所述双面反射镜将入射至双面反射镜的入射光反射后再经过平面反射镜反射至分束器；所述双面反射镜将入射至双面反射镜的入射光反射后再经过角反射体动镜反射至分束器；所述探测收集系统设置于最终经分束器透射或反射的出射光路上。
2.根据权利要求1所述的角反射体动镜干涉仪，其特征在于：所述平面反射镜设置于经分束器反射后的反射光路上时，所述角反射体动镜设置于经分束器透射后的透射光路上。
3.根据权利要求1所述的角反射体动镜干涉仪，其特征在于：所述平面反射镜设置于经分束器透射后的透射光路上时，所述角反射体动镜设置于经分束器反射后的反射光路上。
4.根据权利要求1或2或3所述的角反射体动镜干涉仪，其特征在于：所述探测收集系统包括收集镜以及设置于收集镜透射光路上的探测器。
5.根据权利要求4所述的角反射体动镜干涉仪，其特征在于：所述角反射体动镜是三个相互垂直的平面反射镜构成的系统或直角锥棱镜。
6.根据权利要求5所述的角反射体动镜干涉仪，其特征在于：所述分束器是两块相互平行的平面玻璃板构成的系统或是两块胶合的直角棱镜构成的系统。
7.根据权利要求6所述的角反射体动镜干涉仪，其特征在于：所述双面反射镜是两表面镀有反射膜的平面平行玻璃板。
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