[发明专利]具有减振装置的精密运动平台

权利要求书

1.一种具有减振装置的精密运动平台，其特征是，包括：

基座；

微动台；

三个及三个以上减振装置，成多边形形态放置在所述基座和微动台之间，用以支撑所述微动台；

三个及三个以上水平向电机，放置在所述基座和微动台之间，平均分布在一圆周路径上，与所述减振装置错位放置，用以在水平方向上主动控制微动台的位置或速度。

2.根据权利要求1所述的具有减振装置的精密运动平台，其特征是，还包括：垂向电机，放置在所述基座和微动台之间，用以驱动所述微动台在垂向运动。

3.根据权利要求2所述的具有减振装置的精密运动平台，其特征是，所述减振装置包括：

底板，固定于所述基座上；

中间气浮块，利用气浮结构悬浮于所述底板上方，所述中间气浮块包括导向孔；

活塞，包括导向杆，所述导向杆与导向孔相配合，所述导向杆带动所述活塞相对于所述中间气浮块运动；

金属波纹管，连接所述活塞与中间气浮块，所述金属波纹管具有沿所述导向杆导向方向的柔性变形能力，所述金属波纹管、活塞和中间气浮块形成一空间。

4.根据权利要求3所述的具有减振装置的精密运动平台，其特征是，还包括主气缸，所述底板和基座具有通孔，所述主气缸通过所述通孔连通至所述中间气浮块下方，以在所述底板和中间气浮块之间形成所述气浮结构。