[发明专利]振膜及应用该振膜的硅电容麦克风

说明书

技术领域

本发明涉及一种电容麦克风，尤其涉及一种微机电麦克风。

背景技术

随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。

而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone，简称MEMS)，相关技术中，由于振膜的支撑部只有一个悬臂，会使振膜在平面方向产生扭转，从而影响麦克风的性能。

发明内容

本发明需解决的技术问题是提供一种可以防止在平面方向产生扭转的振膜和应用该振膜的硅电容麦克风。

根据上述需解决的技术问题，设计了一种振膜，该振膜包括振动部、自振动部外周突出的若干支撑部和分离部，该分离部设置在相邻的支撑部之间，分离部与支撑部之间设有第一缝隙，分离部与振动部之间设有第二缝隙，第一缝隙与第二缝隙连通，其特征在于：所述支撑部包括至少两个悬臂，悬臂之间有第三缝隙。

优选的，所述振膜为圆形，支撑部是自振动部外圆周突出的若干横梁，分离部设置在相邻横梁之间且分离部的形状为扇形。

优选的，所述横梁将圆周等分。

优选的，所述横梁的个数为四个且将圆周等分，分离部的个数为四个且其关于振膜的圆心对称。

优选的，所述分离部的弧度相等，且分离部与振膜同圆心。

还设计了一种硅电容麦克风，包括基底、背板和振膜，该振膜包括振动部、自振动部外周突出的若干支撑部和分离部，该分离部设置在相邻的支撑部之间，分离部与支撑部之间设有第一缝隙，分离部与振动部之间设有第二缝隙，第一缝隙与第二缝隙连通，其特征在于：所述支撑部包括至少两个悬臂，悬臂之间有第三缝隙。

优选的，所述振膜为圆形，支撑部是自振动部外圆周突出的若干横梁，分离部设置在相邻横梁之间且分离部的形状为扇形。

优选的，所述横梁将圆周等分。

优选的，所述横梁的个数为四个且将圆周等分，分离部的个数为四个且其关于振膜的圆心对称。

优选的，所述分离部的弧度相等，且分离部与振膜同圆心。

本发明的有益效果在于：由于支撑部包括至少两个悬臂，悬臂之间有缝隙，避免了振膜在平面方向的扭转，也就是避免了振膜在周向上的运动，从而提高了麦克风的信噪比、灵敏度和可靠性。

附图说明

图1是本发明提供的振膜的平面示意图；

图2是本发明提供的硅电容麦克风的一个实施例的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

本发明提供的硅电容麦克风主要用于手机等电子设备中，用于接收声音。振膜用于该硅电容麦克风中。

参见图1，本发明提供的振膜1，包括振动部11、自振动部11外周突出的若干支撑部12、分离部13，支撑部12与分离部13之间有第一缝隙14，该分离部13设置在相邻的支撑部12之间且该分离部13与振动部11之间有第二缝隙15。第一缝隙14和第二缝隙15连通。由于该缝隙15的存在，将振膜1分成两个独立的部分，使得振动部11和分离部13电学隔离，有效降低了寄生电容。支撑部12包括至少两个悬臂，如图1中，第一悬臂121和第二悬臂122，第一悬臂121和第二悬臂122之间有第三缝隙123。

由于支撑部12包括第一悬臂121和第二悬臂122，悬臂之间有缝隙123，避免了振膜在平面方向的扭转，也就是避免了振膜在周向上的运动，从而提高了麦克风的信噪比、灵敏度和可靠性。

参见图1，第一悬臂121平行于第二悬臂122。支撑部12的悬臂不限于2个，也可以是3个或更多。

在本发明的一个实施例中，振膜1为圆形，支撑部12是自振动部11外圆周突出的若干横梁，分离部13设置在相邻横梁12之间，分离部11的形状为扇形。横梁12将圆周等分。

图1中，横梁12的个数为四个，将振膜等分，分离部13的个数为四个，关于振膜1的圆心对称。分离部13的弧度相等，且分离部13与振膜1同圆心。

本发明还提供了一种硅电容麦克风，如图2，包括基底3、背板2和振膜1。振膜1的特征如上所述。

以上所述的仅是本发明的一种实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。