[发明专利]一种测温或电加热用的耐蚀性薄膜及其坩埚元件

权利要求书

1.一种测温或电加热用的耐蚀性薄膜，其特征是，它由以下重量百分比的成分组成：多晶La_1-xSr_xMnO₃ 99.9～95.1％，La_1-yA_yCrO₃ 0.1～4.9％；x＝0～0.6，y＝0～0.6，A＝Ca、Sr或Mg。

2.测温或电加热用的耐蚀性薄膜的制备方法，其特征是，包括以下步骤：

1)制备La_1-xSr_xMnO₃溶胶，按摩尔比La∶Sr∶Mn＝(1-x)∶x∶1，其中x＝0～0.6，将硝酸镧、硝酸锶、硝酸锰混合溶解在去离子水中，配成溶液，然后加入配好的柠檬酸和乙二醇溶液，搅拌制成溶胶并继续搅拌0.5～3小时得到掺锶锰酸镧溶胶；

2)制备La_1-xSr_xMnO₃凝胶，将步骤1)中制好的溶胶在60～90℃加热搅拌至粘稠后，再于60～90℃静置干燥12～36小时得到掺锶锰酸镧凝胶；

3)制备La_1-xSr_xMnO₃粉体，将步骤2)所制得的掺锶锰酸镧凝胶于600～800℃温度下煅烧1～3小时，然后将煅烧产物研磨10～60分钟制得La_1-xSr_xMnO₃粉体；

4)制备La_1-yA_yCrO₃粉体，用步骤1)～3)所述方法制成La_1-yA_yCrO₃粉体；

5)将制备好的La_1-xSr_xMnO₃粉体、La_1-yA_yCrO₃粉体按比例与一定量的有机混合液混合制成均匀浆料，再用丝网印刷法将浆料涂覆在预先清洗好的基体上；

6)干燥处理，将制备好的湿膜基体静置流平，然后置于60～90℃下保温干燥12～24小时；

7)煅烧处理，将步骤5)中干燥好的干膜坩埚放于1000～1400℃中煅烧1～5小时。

3.按照权利要求2所述的测温或电加热用的耐蚀性薄膜的制备方法，其特征是，步骤1)中金属阳离子La、Sr、Mn与柠檬酸之摩尔比为1∶0.8～1∶3，柠檬酸与乙二醇之摩尔比为1∶2～1∶6。

4.按照权利要求2所述的测温或电加热用的耐蚀性薄膜的制备方法，其特征是，步骤5)所述的有机混合液在浆料中的重量百分比为30～80％；所述的有机混合液为乙基纤维素与松油醇混合物，或聚乙二醇与松油醇混合物，其中乙基纤维素或聚乙二醇在有机混合液中的重量百分比≤10％。

5.一种测温或电加热用的耐蚀性薄膜坩埚元件，包括坩埚，其特征是，坩埚内壁或外壁覆有权利要求1所述的测温或电加热用的耐蚀性薄膜，测温或电加热用的耐蚀性薄膜上设有电极。

6.按照权利要求4所述的测温或电加热用的耐蚀性薄膜坩埚元件，其特征是，所述的测温或电加热用的耐蚀性薄膜厚度为1～300μm。