[发明专利]一种集成紫外生物芯片传感器无效
| 申请号： | 201010141645.9 | 申请日： | 2010-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN101813628A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 曲轶;赵强;杨旭;李辉;张斯钰;赵博;刘国军;薄报学 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;H01L21/77;H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130022 吉林省长春市朝*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成 紫外 生物芯片 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种集成紫外生物芯片传感器的制作方法，包括紫外光过滤片的制作、剥离紫外发光二极管、二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片的制作和集成紫外生物芯片传感器制作，其特征在于：在紫外光过滤片的制作中，在Si-PIN探测器上依次生长SiO2层、氧化铟锡ITO层和6H-SiC层，以SiO2层作为绝缘层和扩散势垒层，且其厚度为150nm，以氧化铟锡层作为紫外发光管的导电层和反射层，且其厚度为200nm；以6H-SiC层为滤光层，且其厚度为200nm；在剥离紫外发光二极管中，进行紫外发光二极管蓝宝石衬底剥离时，利用的是KrF准分子激光；在二甲基硅氧烷微流控芯片的制作中，制作50μm，100μm、1mm、2mm宽度的PDMS微流通道，研究不同宽度PDMS微流通道对探测效率的影响；将剥离好的紫外发光二极管传送到带有ITO/6H-SiC/SiO2膜层的Si-PIN探测器的过滤层上，再将带有PDMS微流通道的玻璃板与带有LED光源和6H-SiC紫外光过滤片的Si-PIN探测器集成在一起，最终制得集成紫外生物芯片传感器。
2.根据权利要求1所述，一种集成紫外生物芯片传感器的制作方法，其特征在于，采用了多波长紫外激发光源，
(1)激发光源发光波长在紫外范围；
(2)发光波长分别为340nm和385nm。
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