[发明专利]用于生产多晶硅的反应器及系统

权利要求书

1.一种用于生产多晶硅的反应器，其包括底盘和罩在所述底盘上的筒体，所述底盘上密集地设有多对硅芯座、至少一个进气口和至少一个排气口，硅芯座中心、进气口中心和排气口中心一起在所述底盘上构成中心点阵，其特征在于：所述中心点阵的至少一部分中心点与相邻中心点之间的距离都相等。

2.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：至少部分中心点中的任意相邻的三个中心点构成正三角形。

3.根据权利要求2所述的反应器，其特征在于：位于所述底盘中部的任意相邻的三个中心点构成正三角形。

4.根据权利要求3所述的反应器，其特征在于：位于所述底盘外部的中心点沿所述底盘的圆周向布置在至少一个圆周上。

5.根据权利要求2所述的反应器，其特征在于：位于所述底盘外部的任意相邻的三个中心点构成正三角形。

6.根据权利要求5所述的反应器，其特征在于：位于所述底盘中部的中心点沿所述底盘的圆周向布置在至少一个圆周上。

7.根据权利要求4或6所述的反应器，其特征在于：布置在所述圆周上的硅芯座中心点为偶数。

8.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：所有中心点与相邻中心点之间的距离均相等。

9.根据权利要求3或5所述的反应器，其特征在于：任意相邻的三个中心点构成正三角形。

10.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：任意两个相邻中心点之间的距离为150mm～300mm，优选为210mm～250mm。

11.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：所述筒体由金属材料制成，并且所述筒体设有冷却夹套以供冷却介质从其中流过。

12.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：所述筒体设有至少一个观察窗。

13.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：所述筒体包括封头和筒身，所述筒身高度为1.8m～3m，优选为2.1m～2.8m。

14.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：与所述筒身的内壁相邻的硅芯座中心点与该内壁之间的距离可都相等。

15.根据权利要求14所述的反应器，其特征在于：所述距离为150mm～300mm，优选为180mm～230mm。

16.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：所述底盘由金属材料制成，并且所述底盘设有冷却夹套以供冷却介质从其中流过。

17.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：所述硅芯座由石墨材料制成。

18.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于：每个硅芯座可接纳一根棒状硅芯，所述硅芯经其下端竖向插入所述硅芯座，所述硅芯的上端与相邻的另一根硅芯的上端经由连接件联接成配对硅芯，以允许施加电流通过该配对硅芯。

19.根据权利要求18所述的反应器，其特征在于：所述硅芯的电阻率与待生产的多晶硅的电阻率相同。

20.根据权利要求18或19所述的反应器，其特征在于：所述连接件为水平放置的硅棒，所述硅棒短于所述硅芯。

21.根据权利要求20所述的反应器，其特征在于：所述硅棒和所述硅芯由相同材料制成。

22.根据权利要求20所述的反应器，其特征在于：所述硅芯和所述硅棒可以通过直拉法、区熔法或切割法生产，所述硅芯和所述硅棒可以是任意适合的形状。

23.根据权利要求18所述的反应器，其特征在于：所述硅芯的直径或当量直径为6mm～20mm，优选为8mm～10mm，高度为1.8m～3m，优选为2m～2.8m。

24.一种用于生产棒状多晶硅的系统，其包括根据权利要求1-23任一项所述的反应器。