[发明专利]一种一体化磁控管阳极制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及真空物理电子器件制造技术领域，具体涉及一种一体化磁控管 阳极制造方法。

背景技术

磁控管是工业和民用微波炉生产制造的核心部件，其阳极是一种采用无氧 铜材料制造、带有中心异型叶片的型腔结构，相应的制作技术是该部件生产重 要环节之一。目前民用磁控管阳极制造技术多采用分立元件焊接方式，即外圆 筒结构使用自动车床加工，中心叶片结构采用工装定位、钎焊焊接工艺成型。

关于磁控管阳极的压制成型工艺，2007年有人提出采用阳极元件整体化结 构的设想(参见中国实用新型专利CN201084685Y)，2008年又有人提出两次冲 压成型的方法(参见中国发明专利CN101217086A)，来实现阳极元件的成型制 作，同时保证了元件精度和一致性。已有技术作为一种单元技术，与分立元件 工装定位技术相比，尽管可以达到较高的元件精度，但生产效率相对较低。已 有技术中，若采用冷压成型来保证元件精度，则模具寿命短是一个突出的问题， 产业化应用受到很大的限制。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点和不足，提供一种一体化磁控 管阳极制造方法，该方法的抛光修正工艺过程降低了对模具一次成型精度的要 求，有效降低了模具的制作难度，也提高了模具的使用稳定性。

本发明的目的通过下述技术方案实现：一种一体化磁控管阳极制作方法， 包括以下步骤：

(1)下料，然后根据模具要求将原材料预制成扁平柱状或扁平环状材料；

(2)采用锻压或冲压工艺将步骤(1)下的材料压制成型；

(3)对步骤(2)压制成型的工件进行清洗/抛光，去除工件表面的毛刺和 附着在工件表面的碎屑；

(4)检测分类，确定批次工件之间的尺寸差异；并根据检测结果将工件分 为不同的尺寸档；

(5)根据步骤(4)的检测结果对尺寸进行抛光修正。

所述的扁平柱状材料体积预制为制成工件的115％。

在上述一体化磁控管阳极制作方法中，步骤(1)下的材料为无氧铜材料； 步骤(2)所述锻压工艺为热压成型工艺，将扁平柱状或扁平环状的材料加热至 无氧铜的结晶相变温度以上，同时对模具进行预热，周边使用氮-氢混合气体保 护。

在上述一体化磁控管阳极制作方法中，对模具进行预热时，预热温度不大 于模具相变温度的1/3。

在上述一体化磁控管阳极制作方法中，步骤(4)所述检测的方法为光电、 超声、量具和称重中的任意一种或两种以上的组合。

在上述一体化磁控管阳极制作方法中，步骤(5)所述的抛光修正使用液体 抛光工艺。

所述液体抛光工艺为电化学抛光或等离子抛光方法。

本发明相对于现有技术具有如下的优点及效果：

(1)本发明提出的抛光修正工艺过程可降低对模具一次成型精度的要求， 有效降低了模具的制作难度，也提高了模具的使用稳定性。

(2)本发明在热锻压过程造成的几何尺寸离散可通过后续抛光修正工艺进 行修正，可延长模具的使用寿命，适用于产品的大批量产业化生产。

(3)本发明可通过适当的下料形状有效降低无氧铜原材料的损耗。

(4)本发明采用电化学抛光或等离子(电浆)抛光工艺，残液中的铜可以 回收用于其他用途，实现绿色环保目的。

(5)本发明工艺过程简单，易于实现自动化控制，阳极制成品的一致性较 好，且相应的综合制造成本得到了有效的降低。

附图说明

图1为本发明的工艺流程图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本发明作进一步地详细说明，但本发明的实施 方式不限于此。

实施例

如图1所示，本发明的工艺流程包括以下步骤：

(1)下料，然后根据模具要求将原材料预制成扁平柱状或扁平环状材料， 目的是节省材料和便于后续加工。优选地，所述的下料采取扁平柱状材料，体 积预制为制成工件的115％(但不限于此比例)，表面平滑去毛刺，采用超声清 洗后烘干。在本实施例中，原材料为无氧铜原材料。