[发明专利]用机器人服务等离子体处理系统的方法

权利要求书

1.一种用于服务等离子体处理系统的方法，该等离子体处理系统 至少包括等离子体室，该等离子体室包括顶部部件和底部部 件，该顶部部件置于该底部部件上方，该方法包含：

使用机器人设备以控制提升机构从该底部部件提升该顶 部部件；

根据一组预定服务程序，将该机器人设备的机械手臂的 第一部分伸入该顶部部件中以执行第一组预定任务；以及

根据所述的一组预定服务程序，将该机器人设备的机械 手臂的第二部分伸入该底部部件中以执行第二组预定任务。

2.根据权利要求1所述的方法，其中该第一组预定任务至少包括 使用清洁垫板至少清洁该顶部部件的一组内壁，该方法进一步 包含当在该清洁垫板和该顶部部件的该组内壁的表面之间测 得的摩擦力变得小于特定值时，停止该清洁。

3.根据权利要求1所述的方法，其中该第一组预定任务至少包 括除去该顶部部件内的等离子体室部件。

4.根据权利要求1所述的方法，其中该第一组预定任务至少包 括放置该顶部部件内的等离子体室部件。

5.根据权利要求1所述的方法，其中该第一组预定任务至少包括 对准该顶部部件内的等离子体室部件。

6.根据权利要求1所述的方法，其中该第一组预定任务包括在该 顶部部件内执行编程好的浸泡。

7.根据权利要求1所述的方法，其中该第一组预定任务包括在该 顶部部件内用刷子执行摩擦，其中所述刷子为PVA刷子、擦拭 器和摩擦剂垫板中的任一种。

8.根据权利要求1所述的方法，其中该第一组预定任务包括执 行抽真空以从该顶部部件内除去微粒。

9.根据权利要求1所述的方法，进一步包含确定一组重量和几何 形状限制，其中该第一组预定任务至少包括根据该组重量和几 何形状限制从该顶部部件内更换可消耗结构。

10.根据权利要求1所述的方法，进一步包含确定一组转矩要求， 其中该第一组预定任务至少包括根据该组转矩要求，将该顶部 部件内的一组锁闩拉紧。

11.一种用于服务等离子体处理系统的方法，该等离子体处理系统 至少包括等离子体室，该方法包含：

将机器人设备的机械手臂伸入该等离子体室中；以及

在伸入之后，当该等离子体处理系统处于正常操作过程 中时，根据一组程序执行一组任务。

12.根据权利要求11所述的方法，其中该组任务至少包括至少清 洁该等离子体室的一组内壁，该方法进一步包含当该等离子体 室的该组内壁的表面的颜色与参考样本颜色相匹配时，停止该 清洁。

13.根据权利要求11所述的方法，其中该组任务至少包括除去该 等离子体室内的等离子体室部件。

14.根据权利要求11所述的方法，其中该组任务至少包括放置该 等离子体室内的等离子体室部件。

15.根据权利要求11所述的方法，其中该组任务至少包括对准该 等离子体室内的等离子体室部件。

16.根据权利要求11所述的方法，其中该组任务包括在该等离子 体室内执行编程好的浸泡。

17.根据权利要求11所述的方法，其中该组任务包括在该等离子 体室内用刷子执行摩擦，其中所述刷子为PVA刷子、擦拭器和 摩擦剂垫板中的任一种。

18.根据权利要求11所述的方法，其中该组任务包括执行抽真空 以从该等离子体室内除去微粒。

19.根据权利要求11所述的方法，进一步包含确定一组重量和几 何形状限制，其中该组任务至少包括根据该组重量和几何形状 限制从该顶部部件内更换可消耗结构。

20.根据权利要求11所述的方法，进一步包含确定一组转矩要求， 其中该组任务至少包括根据该组转矩要求，将该等离子体室内 的一组锁闩拉紧。