[发明专利]抛光垫及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及抛光垫及其制造方法，特别是不需要利用强酸或强碱进行开纤的抛光垫及其制造方法。

背景技术

目前常用的机械抛光方法在抛光时容易造成晶片表面刮伤，这是由于纤维细度太大和研磨液颗粒累积于抛光垫的孔隙中而造成的。因此目前纤维基材会改用细纤维以防止刮伤或是利用多次浸渍的方式来调整抛光垫的饱和度、硬度，并可调整高分子弹性体的特性及含量、固含量、模量，进而控制抛光垫的硬度、可压缩性和平坦性，例如中国台湾专利公告第491757号“一种网纹加工用研磨片及其制法”所揭示的。

然而，在已知工艺中，在该纤维基材变成细纤维(开纤)的过程中，一般须使用强酸或强碱溶液进行开纤工艺。使用后的溶液需进行后续处理，因此会增加成本且不环保。此外，上述开纤工艺是在该纤维基材浸渍高分子弹性体后进行的，造成抛光垫中的弹性体因纤维被部分移除而无法与该纤维基材完全结合，导致在抛光过程中纤维容易脱落，表面毛羽容易缠结。为了克服上述缺点，另一种已知方式是将该纤维基材进行多次浸渍，然而该方式不仅繁琐复杂、效率低，而且增加了成本。

因此，有必要提供创新的且具有进步性的抛光垫及其制造方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明提供抛光垫的制造方法，其包括以下步骤：(a)提供多根复合纤维，每一根复合纤维都具有多根细纤维及第一高分子弹性体树脂，该第一高分子弹性体树脂包覆所述细纤维；(b)将所述复合纤维交错排列以形成纤维基材；及(c)将该纤维基材含浸于第二高分子弹性体树脂溶液中，其中该第二高分子弹性体树脂溶液包含该第二高分子弹性体树脂，该第二高分子弹性体树脂和该第一高分子弹性体树脂具有相同的官能团，使得该第一高分子弹性体树脂溶解于该第二高分子弹性体树脂溶液中，从而使所述细纤维的部分区段暴露。

本发明还提供抛光垫，其包括纤维基材及第二高分子弹性体树脂。该纤维基材由多根复合纤维交错排列而成，每一根复合纤维都具有多根细纤维及第一高分子弹性体树脂，该第一高分子弹性体树脂间断地包覆所述细纤维。该第二高分子弹性体树脂包覆所述复合纤维，其中该第二高分子弹性体树脂和该第一高分子弹性体树脂具有相同的官能团。

在本发明中，在该纤维基材变成细纤维(开纤)的过程中，不需要使用强酸或强碱溶液进行开纤工艺，因此，使用后的溶液可回收再使用，这不仅环保而且可降低成本。此外，本发明可通过调整该抛光垫中该第一高分子弹性体树脂和该第二高分子弹性体树脂的饱和度，使得在抛光过程中研磨液颗粒不易累积于该抛光垫的孔洞中，而且所述细纤维的细度可以更小且不易缠结，因而不易刮伤被抛光的工件的表面，使得被抛光的工件具有优异的表面质量。

附图说明

图1显示本发明所使用的复合纤维的示意性剖视图；

图2显示本发明抛光垫的示意性剖视图；

图3显示图2的抛光垫中的区域A的局部剖视图；及

图4显示本发明抛光垫的另一实施方式的示意性剖视图。

主要组件符号说明

1本发明抛光垫

12复合纤维

14第二高分子弹性体树脂

16孔洞

121细纤维

122第一高分子弹性体树脂

具体实施方式

本发明涉及抛光垫的制造方法，其包括以下步骤。首先，参考图1，提供多根复合纤维12，每一根复合纤维12具有多根细纤维121及第一高分子弹性体树脂122，该第一高分子弹性体树脂122包覆所述细纤维121。所述细纤维121的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、尼龙、聚丙烯(PP)、聚酯树脂、丙烯酸类树脂(Acrylic Resin)及聚丙烯腈树脂。在一个实施方式中，所述复合纤维12的细度小于6旦，所述细纤维121的细度小于0.5旦，且在所述复合纤维12中所述细纤维121与该第一高分子弹性体树脂122的重量比为4∶6。

该第一高分子弹性体树脂为热塑性聚氨酯弹性体(TPU)。在本实施方式中，所述复合纤维12为海岛型纤维，所述细纤维121为岛成分，该第一高分子弹性体树脂122为海成分。然而在其它应用中，所述复合纤维12也可以是分割型纤维。

接着，将所述复合纤维12交错排列以形成纤维基材。在一个实施方式中，该纤维基材为无纺布，其是利用固结方式(例如，针刺、水刺或热压)将所述复合纤维12交错排列而形成该纤维基材。