[发明专利]一种采用曝光方式标定曝光能量需求分布的方法

权利要求书

1.一种采用曝光方式标定曝光能量需求分布的方法，采用空间光调制器作 为图形发生器，光源发出的光照射至空间光调制器，被空间光调制器反射，产生 反射光，所述反射光通过远心投影成像系统，入射至表面覆有光刻胶并放置在平 台上的基底上，其特征在于：打开空间光调制器中需要使用的多个区域，光源发 出的光照射至空间光调制器上，被空间光调制器中所述多个区域反射至所述基 底，移动平台，同时控制光源，使空间光调制器中所述多个区域的反射光的能量 强度均匀变化，能量强度均匀变化的反射光入射至所述基底，并在所述基底上进 行曝光形成多个与空间光调制器中的区域一一对应的打开区域，通过CCD相机对 基底上曝光得到的多个打开区域进行拍摄，并将拍摄到的图像传送至计算机中处 理；在计算机中利用图像处理软件，将基底上相邻能量强度各自对应的打开区域 的图像进行相减运算，得到在相邻能量强度之间的区间段内刚好被曝光形成的打 开区域，将所述打开区域再与空间光调制器中的区域对照，确定空间调制器中多 个区域分别各自对应的能量强度区间，完成标定空间光调制器所使用的区域达到 曝光指标的能量值。

2.根据权利要求1所述的一种采用曝光方式标定曝光能量需求分布的方法， 其特征在于：通过调整光源的能量强度，使光源照射至空间光调制器的入射光的 能量强度按固定的时间间隔等比递增或递减，得到能量强度均匀变化的空间光调 制器中的区域的反射光；或者保持光源能量强度不变，通过等比调整光源工作的 时间，使光源工作的时间等比例递增或等比例递减，得到能量强度均匀变化的空 间光调制器中的区域的反射光。

3.根据权利要求1所述的一种采用曝光方式标定曝光能量需求分布的方法， 其特征在于：所述的空间光调制器为一块空间光调制器，或者是由多块空间光调 制器拼接而成的。