[发明专利]外观检查用照明装置和外观检查装置

权利要求书

1.一种外观检查用照明装置，包括：

透射性反射板，由透光材料形成，在中心具有开口，呈以所述开口的中心轴为中心且半径向下逐渐变大的圆顶形状，并具有下表面和位于该下表面的相反侧的上表面，所述下表面由反射面形成，该反射面形成有用于漫射并反射来自下方的光的细微凹凸；

第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元，用于照射检查对象，设置在所述透射性反射板的上表面上，并布置在位于所述开口下方且经过所述中心轴的位置；和

第四光源单元，用于照射所述检查对象，并设置在透射性反射板下方，其中：

所述第一光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心的第一环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以第一角度与垂直于所述中心轴并通过所述检查对象的虚拟平面相交，以照射所述检查对象；

所述第二光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且半径大于第一环形区域的第二环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以小于所述第一角度的第二角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；

所述第三光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且位于所述第一环形区域与所述第二环形区域之间的第三环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以介于所述第一角度与所述第二角度之间的第三角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；并且

所述第四光源单元包括沿所述透射性反射板的外周的下部布置的多个光源，从这些光源发出的光被所述透射性反射板的下表面漫射并反射，以照射所述检查对象。

2.如权利要求1所述的外观检查用照明装置，其中，

在所述透射性反射板上方设置有盖，在该盖与所述透射性反射板之间形成有容纳空间，并且

所述第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元被所述盖支承，并容纳在所述容纳空间中。

3.如权利要求2所述的外观检查用照明装置，其中，所述盖的与所述透射性反射板相对的下表面由反射面形成。

4.如权利要求1所述的外观检查用照明装置，其中，

在所述透射性反射板上方设置有盖，在该盖与所述透射性反射板之间形成有容纳空间，

设置有保持所述透射性反射板的外周和所述盖的外周的环形框，

在所述框中设置有位于所述透射性反射板的外周的下方并沿所述透射性反射板的外周延伸的环形板部，并且

所述第四光源单元被所述环形板部支承。

5.如权利要求1所述的外观检查用照明装置，其中，

在所述第四光源单元下方设置有以所述中心轴为中心并呈环形形状延伸的半透射性漫射板，

所述漫射板具有与所述检查对象相对的前表面和位于该前表面相反侧的后表面，

在所述后表面上布置有第五光源单元，并且

从所述第五光源单元发出的光穿过所述漫射板，并以小于所述第二角度的第四角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象。

6.如权利要求1所述的外观检查用照明装置，其中，

所述第三环形区域沿圆周方向被分成多个照明区域，并且

在所述第三光源单元中，位于各照明区域中的各光源被选择性地打开。

7.如权利要求5所述的外观检查用照明装置，其中，

所述第五光源单元布置成以所述中心轴为中心的环形区域，

该环形区域沿圆周方向被分成多个照明区域，

所述第五光源单元包括布置在该环形区域中的多个光源，并且

在所述第五光源单元中，位于各照明区域中的各光源被选择性地打开。

8.一种外观检查装置，包括：

基台，包括载置检查对象的基台本体和从所述基台本体直立的支柱；

摄像装置，被所述支柱支承，并且该摄像装置的摄像光学系统的光轴指向下方；

透射性反射板，被所述支柱支承，由透光材料形成，在中心具有供所述摄像装置从上方插入的开口，呈以所述开口的中心轴为中心且半径向下逐渐变大的圆顶形状，并具有下表面和位于该下表面的相反侧的上表面，所述下表面由反射面形成，该反射面形成有用于漫射并反射来自下方的光的细微凹凸；

第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元，用于照射检查对象，设置在所述透射性反射板的上表面上，并布置在位于所述开口下方且经过所述中心轴的位置；和

第四光源单元，用于照射所述检查对象，并设置在透射性反射板下方，其中

所述第一光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心的第一环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以第一角度与垂直于所述中心轴并通过所述检查对象的虚拟平面相交，以照射所述检查对象；

所述第二光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且半径大于第一环形区域的第二环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以小于所述第一角度的第二角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；

所述第三光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且位于所述第一环形区域与所述第二环形区域之间的第三环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以介于所述第一角度与所述第二角度之间的第三角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；并且

所述第四光源单元包括沿所述透射性反射板的外周的下部布置的多个光源，从这些光源发出的光被所述透射性反射板的下表面漫射并反射，以照射所述检查对象。