[发明专利]一种激光加工方法及系统

权利要求书

1.一种激光加工方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

生成加工光和视觉光；

将所述加工光和视觉光合并形成混合光；

将所述混合光聚焦于工件；

实时采集返回的视觉光，获取视觉图像；

比较所述视觉图像与目标图像，获取所述视觉图像与目标图像之间的偏差量；

根据所述偏差量，调整所述混合光的光路；

加工所述工件；

循环执行所述根据所述偏差量，调整所述混合光的光路，加工所述工件的步骤，直至所述视觉图像与目标图像重合。

2.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述视觉光的波长与加工光的波长相等。

3.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，执行所述比较所述视觉图像与目标图像，获取所述视觉图像与目标图像之间的偏差量的步骤的同时，存储所述偏差量。

4.一种激光加工系统，其特征在于，所述系统包括：

加工光光源和视觉光光源，用于分别生成加工光和视觉光；

双色镜，用于将所述加工光和视觉光合并形成混合光；

聚焦镜，用于将所述混合光聚焦于工件；

采集模块，用于实时采集返回的视觉光，获取视觉图像；

比较模块，用于比较所述视觉图像与目标图像，获取所述视觉图像与目标图像之间的偏差量；

光路调整装置，用于根据所述偏差量，调整所述混合光的光路；

加工模块，用于加工所述工件。

5.如权利要求4所述的激光加工系统，其特征在于，所述视觉光的波长与加工光的波长相等。

6.如权利要求4所述的激光加工系统，其特征在于，所述系统还包括：

存储模块，用于存储所述偏差量。

7.如权利要求4所述的激光加工系统，其特征在于，所述光路调整装置设于所述双色镜与聚焦镜之间。

8.如权利要求7所述的激光加工系统，其特征在于，所述光路调整装置包括第一摆动镜和第二摆动镜，所述混合光投射至第一摆动镜，经所述第一摆动镜投射至第二摆动镜，经所述第二摆动镜投射至聚焦镜。

9.如权利要求4～8中任一项所述的激光加工系统，其特征在于，所述聚焦镜为变焦镜。

10.如权利要求9所述的激光加工系统，其特征在于，所述变焦镜为Fθ镜头。