[发明专利]流体轴承结构及流体轴承结构的轴承凹面作成方法

权利要求书

1.一种流体轴承结构，其特征在于，

具有第一部件、和由上述第一部件旋转自如地支撑或直线移动自如地支撑的第二部件，上述第一部件和上述第二部件具有相互对置的轴承面，在该轴承面的一方设有流体喷出口，在该流体喷出口周围设有凹面，具有设置流体喷出口的轴承面的第一部件和第二部件的至少一方通过将具有轴承面的轴承基座和具有流体喷出口并固定在上述轴承基座上的凹面形成部一体化而构成，上述轴承基座和上述凹面形成部用具有不同属性的不同的铝合金作成，

在上述轴承基座和上述凹面形成部上具有利用阳极氧化处理形成的被覆膜，利用上述轴承基座上的被覆膜和上述凹面形成部上的被覆膜的厚度差，在流体喷出口的周围形成凹面。

2.根据权利要求1所述的流体轴承结构，其特征在于，上述轴承基座和上述凹面形成部以该凹面形成部的端部与轴承基座的轴承面没有阶梯差的方式一体化。

3.一种流体轴承结构的轴承凹面作成方法，该流体轴承结构具有第一部件、和由该第一部件旋转自如地支撑或直线移动自如地支撑的第二部件，上述第一部件和上述第二部件具有相互对置的轴承面，在该轴承面的一方设有流体喷出口，在该流体喷出口周围设有轴承凹面，上述流体轴承结构的轴承凹面作成方法的特征在于，具备以下步骤：

将上述第一部件和上述第二部件的至少一方通过将用不同材质的铝合金作成的具有上述轴承面的轴承基座和具有上述流体喷出口的凹面形成部一体化来形成的步骤；以及

利用阳极氧化处理在轴承基座和凹面形成部上形成保护膜，利用轴承基座上的保护膜和凹面形成部上的保护膜的厚度差，在上述流体喷出口的周围形成轴承凹面的步骤。

4.一种流体轴承结构的轴承凹面作成方法，该流体轴承结构具有第一部件、和由该第一部件旋转自如地支撑或直线移动自如地支撑的第二部件，上述第一部件和上述第二部件具有相互对置的轴承面，在该轴承面的一方设有流体喷出口，在该流体喷出口周围设有轴承凹面，上述流体轴承结构的轴承凹面作成方法的特征在于，具备以下步骤：

将上述第一部件和上述第二部件的至少一方通过将用不同材质的铝合金作成的具有上述轴承面的轴承基座和凹面形成部一体化来形成的步骤；

在上述凹面形成部上形成上述流体喷出口的步骤；以及

利用阳极氧化处理在轴承基座和凹面形成部上形成保护膜，并利用轴承基座上的保护膜和凹面形成部上的保护膜的厚度差，在上述流体喷出口的周围形成轴承凹面的步骤。