[发明专利]洁净室水喷雾加湿控制方法及加湿控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及洁净室水喷雾加湿控制方法及加湿控制系统，更具体而言，涉及将可精细喷雾水粒子的喷嘴直接设置于洁净室内部，并将用于监视/控制洁净室湿度变化的探测湿度传感器设置于洁净室，且构成可控制上述组件的控制部，用以根据目标湿度维持洁净室内部湿度的洁净室水喷雾加湿控制方法及加湿控制系统。

背景技术

首先，洁净室是指使一定空间内空气中的浮游粒子具有规定粒径、规定数值以下的清洁度，通过供应工具维持供应至在上述空间生产的材料、药品、气体、水等的规定的清洁度，并对温度、湿度、压力、气流、噪音、振动等环境条件进行管理的空间。

为维护上述洁净室，需要：(1)向洁净室内部吹送洁净空气；(2)维持洁净室内部所需的温度、湿度及室内压力；(3)防止微粒流入洁净室内部；(4)防止洁净室内部产生微粒；(5)防止微粒积累于洁净室内部及发生时迅速去除。

为维护上述洁净室需使用空气调节器，而上述称之为空气调节器的装置的作用包括两个方面：首先，使洁净室内部的压力维持高于外部压力的状态，从而防止异物流入，起到维持正压的作用；其次，为针对外部温度、湿度变化(四季、干季、雨季)始终维持洁净室内一定的温度和湿度，起到使供应至洁净室内部的空气始终维持一定的温度和水份量的作用。

一般而言，加湿是指向空气中增加水蒸气等提高湿度的作用，而加湿方式大致分为蒸汽加湿、蒸发加湿、水喷雾加湿等。

蒸汽加湿方式是对水进行加热产生蒸汽形式的相变化之后，喷雾至空气中获得加湿效果的方式，具有因其热函高，容易吸收至空气中的优点，设置空间制约少，广泛用于大规模加湿设备设施，但具有内能源消耗大的缺点。

蒸发加湿方式是通过在空气流动中设置浸渍过水的吸收性高的纤维或填充材料，从而使水分蒸发的方式，有使旋转体的一部分在连接于水的状态下旋转，从而使水蒸发的旋转式；利用毛细管的毛细管式；及向加湿填充材料上部撒水并使空气通过的点滴方式等，虽然设置于空气调节器内部使用，但不利于大规模加湿控制，需要加热能源，因此只有在有废热时才能使用。

水喷雾加湿方式是直接将水喷雾至空气中的方式，通过将雾化的水喷雾至空气中，获得加湿效果及隔热冷却效果的方式，有利用电动机高速旋转的离心方式；利用喷嘴喷雾的方式；及使用利用水晶振荡器的超声波发生器向空气中放出微粒的水粒子的超声波方式等。水喷雾加湿方式虽然是精细喷雾水粒子，但为了吸收至空气中，需要一定量的汽化热，具有其吸收时间长于蒸汽加湿的缺点，因此，在用于洁净室内部时，未汽化的水粒子将弄湿天花板过滤器导致污染。另外，考虑到其经济性，大多用于家庭等小规模加湿。

在上述加湿方式中，考虑到需确保大容量加湿量、维护的便利性及加湿的可靠性，一般用于洁净室的加湿方式是空气调机器内部的蒸汽加湿方式。如图1所示，用于蒸汽加湿的空气调节器30，包括：各设置于空气调节器入口和出口的用于去除空气中异物的各种类型的过滤器33、38；为冬季取暖和加湿连接于锅炉32的取暖线圈35和用于加湿的加湿器36；为夏季的降温和减湿连接于冷冻机31的冷却线圈34；送风机37；从而到了冬季，通过启动锅炉32利用取暖线圈35进行热交换，并通过启动加湿器36向洁净室内供应经加湿的空气的结构，但因为燃料费的上升，加湿器的锅炉32的加热负荷需要高昂的运行费用。

上述蒸汽加湿方式存在产生蒸汽需消耗大量费用的问题。

另外，因采用在空气调节器30内部进行集中控制的方式，因此，不利于在洁净室内部维持不同区域的均匀湿度分布，不能均匀控制洁净室内部的不同区域的湿度。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种洁净室水喷雾加湿控制方法及加湿控制系统，其通过按不同控制组设置容易向流动于洁净室内部的循环空气进行精细喷雾的加湿喷嘴，从而可精确喷雾不同控制组所需的水分，实现稳定的水喷雾方式加湿控制，而且通过在洁净室的风道区间设置水喷雾加湿部，确保足够的吸收距离，防止水粒子弄湿天花板过滤器的现象，另外，通过细分各加湿部，使不同控制组加湿部各自控制湿度，实现各加湿部对不同控制组的目标湿度。

本发明的另一目的在于，提供一种洁净室水喷雾加湿控制方法及加湿控制系统，其在需精确控制温湿度的洁净室中，通过直接喷雾水同时满足冷却空气和加湿的目的，而且通过优秀的目标控制性能实现高效率。