[发明专利]太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造方法，其在基板上形成薄膜太阳能电池，该太阳能电池的制造方法的特征在于：

在所述薄膜太阳能电池的与光入射侧相反的一侧的面上形成透明电极层和金属层的叠层结构作为背面电极层时，设置对一个所述基板同时形成所述透明电极层和所述金属层的期间。

2.如权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于：

所述透明电极层和所述金属层通过溅射形成，

设置一种期间，该期间是在一个所述基板中，曝露于用于形成所述透明电极层的溅射的等离子体的面积和曝露于用于形成所述金属层的溅射的等离子体的面积的合计面积为所述基板的整个面积的1/3以上的期间。

3.如权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于：

所述透明电极层是氧化锌。

4.如权利要求3所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于：

在所述氧化锌中添加有镁。