[发明专利]一种利用强脉冲离子束制备具有连续过渡层的镀层的方法无效

专利信息
申请号: 201010149585.5 申请日: 2010-04-19
公开(公告)号: CN101818325A 公开(公告)日: 2010-09-01
发明(设计)人: 梁家昌;乐小云;胡雪兰;颜莎;王志平;张鹏;陈悦;陈逸飞;张艳燕;荣翠华;刘冶 申请(专利权)人: 中国民航大学
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/16
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 马锋
地址: 300300 天*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 脉冲 离子束 制备 具有 连续 过渡 镀层 方法
【权利要求书】:

1.一种利用强脉冲离子束制备具有连续过渡层的镀层的方法,其特征在于,按照下述步骤进行:

(1)对基底材料进行打磨、抛光、超声清洗;

(2)利用磁控溅射法在基底材料上沉积镀层材料;

(3)利用强脉冲离子束的一个脉冲辐照步骤(2)制备的样品,所述辐照工艺参数为:强脉冲离子束的束流中含有数量百分比70%的质子和数量百分比30%的碳离子,加速电压脉冲为300-350kv,脉冲电流密度为30-50A/cm2,离子束能量为0.7-0.8J/cm2,一个脉冲的离子流为1×1013-2×1013个/厘米2,脉冲宽度为50-70ns;

所述的基底材料为金属镍或者金属铜;所述的镀层材料为金属铝或者铝硅合金。

2.根据权利要求1所述的一种利用强脉冲离子束制备具有连续过渡层的镀层的方法,其特征在于,利用强脉冲离子束辐照加工的工艺参数为:强脉冲离子束的束流中含有数量百分比70%的质子和数量百分比30%的碳离子,加速电压脉冲为320-350kv,脉冲电流密度为40-50A/cm2,离子束能量为0.8J/cm2,一个脉冲的离子流为2×1013个/厘米2,脉冲宽度为60-70ns。

3.根据权利要求1所述的一种利用强脉冲离子束制备具有连续过渡层的镀层的方法,其特征在于,所述的基底材料为金属镍;所述的镀层材料为铝硅合金,其中铝的质量百分比为93%-97%,硅的质量百分比为3%-7%。

4.根据权利要求1所述的一种利用强脉冲离子束制备具有连续过渡层的镀层的方法,其特征在于,所述的基底材料为金属镍;所述的镀层材料为铝硅合金,其中铝的质量百分比为60%,硅的质量百分比为40%;利用强脉冲离子束辐照加工的工艺参数为:强脉冲离子束的束流中含有数量百分比70%的质子与数量百分比30%的碳离子,加速电压脉冲为300kV,脉冲电流密度为50A/cm2,离子束能量为0.8J/cm2,一个脉冲的离子流为2×1013个/厘米2,脉冲宽度为50ns。

5.根据权利要求1所述的一种利用强脉冲离子束制备具有连续过渡层的镀层的方法,其特征在于,所述的基底材料为金属镍;所述的镀层材料为铝硅合金,其中铝的质量百分比为93%,硅的质量百分比为7%;利用强脉冲离子束辐照加的工艺参数为:强脉冲离子束的束流中含有数量百分比70%的质子和数量百分比30%的碳离子,加速电压脉冲为350kV,脉冲电流密度为40A/cm2,离子束能量为0.8J/cm2,一个脉冲的离子流为2×1013个/厘米2,脉冲宽度为70ns。

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