[发明专利]一种基于衍射微光学元件的强激光无模成形方法及装置

权利要求书

1.一种基于衍射微光学元件的强激光无模成形方法，其特征在于；根据需成形零件形状，设计制作衍射微光学元件(DOE)，将衍射光学元件作为激光束调制整形元件，激光器发出的一束激光通过分光镜后形成了两束激光，两束激光分别通过扩束系统、调制整形元件、聚焦系统，使得同时照射到待加工工件上、下表面的激光束光斑形状与传统模具上下模形状相似，并与待成形零件形状相适应，在激光的冲击与热作用下，对待加工区域进行加工，实现无模成形。

2.一种基于衍射微光学元件的强激光无模成形的装置，其特征在于：包括激光器(1)、分光镜(2)、反光镜A(6)、反光镜B(13)、反光镜C(9)、扩束系统A、B(3)(12)，调制整形元件A、B(4)(11)、聚焦系统A、B(5)(10)和夹紧装置(7)，并且分光镜(2)、扩束系统A(3)、调制整形元件A(4)、聚焦系统A(5)和反光镜A(6)的轴心需保证在同一中心线上，反光镜B(13)、扩束系统B(12)、调制整形元件B(11)、聚焦系统B(10)和反光镜C(9)的轴心需保证在同一中心线上，避免激光束在传输过程中发生偏移。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于；所述夹紧装置(7)包括上夹板(18)，下夹板(15)、光学玻璃(19)，水介质约束层(17)，压板(20)、待加工工件(8)和水槽(21)；待加工工件(8)位于水槽(21)中，并用压板(20)固定，上压板(18)之下和下压板(15)之上都设有光学玻璃(19)，保证上下激光束能够通过光学玻璃(19)照射在待加工工件(8)上，待加工工件(8)上表面和下表面涂有激光吸收保护膜(16)，水槽(21)中注入水作为约束层(17)。