[发明专利]镀膜机

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜机，尤其涉及一种利用离心力进行镀膜的镀膜机。

背景技术

旋转涂布(Spin Coating)是一种在基板上形成一层薄膜的方法。具体地，基板固定于一可控的旋转离心机工作平台中心，并随之旋转，一滴液装置将待镀液体滴在基板中心，液滴在离心力的作用下从基板中心向四周抛洒出去，从而使得待镀液体分布在基板的整个待镀表面上。此后，基板通常会被加热以使分布在基板上的待镀液体蒸发而形成薄膜。

在某些情况下，如要求镀膜层具有特定的品质时，需要在镀膜进行过程中在待镀液体中添加其他液态物质，常规进行旋转涂布的镀膜机不能很方便的实现上述添加其他液态物质到待镀液体中。此外，由于液滴在离心力的作用下从基板中心向四周抛撒，所以工作台上每次只能安装一块基板，降低了镀膜的效率。

发明内容

本发明提供一种镀膜机，通过该镀膜机的转子可方便的在待镀液体中添加其他需要的液态物质。

一种镀膜机，其用于将待镀液体涂布到基板上，所述镀膜机包括容器和转子，所述容器用于容纳待镀液体，所述容器包括侧壁，所述基板固定于所述侧壁上，所述转子包括相互连通的入液口和出液口，参杂液体自所述入液口流入所述转子中，并在离心力的作用下由所述出液口排出而与所述待镀液体混合，所述转子的转动带动所述待镀液体和参杂液体旋转以将待镀液体和参杂液体附着于所述基板上。

本发明的镀膜机的转子设置有相互连通的入液口和出液口，待添加的其他需要的液态物质可自入液口注入转子中，并且在转子转动产生的离心力作用下自出液口喷射出而与待镀液体混合。此外，本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板，所以可以同时对多块基板进行镀膜，由此提高了镀膜效率。

附图说明

图1为本发明的镀膜机的立体示意图。

图2为图1所示的镀膜机的分解状态下的剖面示意图。

图3为图1所示的镀膜机的剖面示意图，其显示出待镀膜的基板被液体所覆盖。

主要元件符号说明

  镀膜机  100  待镀液体  200