[发明专利]测试头定位系统和方法

权利要求书

1.一种负载支撑装置，包括：

多个气动单元；

与所述负载的相反两侧相连的多个连接器，所述多个连接器响应 于所述多个气动单元的驱动平行于第一轴线向上或向下移动所述负 载，所述多个连接器中的至少一个连接器通过向上或向下移动而绕着 与所述第一轴线垂直的第二轴线转动所述负载，所述负载沿着所述第 一轴线和绕着所述第二轴线具有柔顺性，至少一个所述气动单元沿着 所述第一轴线和绕着所述第二轴线提供柔顺性。

2.根据权利要求1所述的负载支撑装置，还包括一个沿着所述第 一轴线移动所述负载的摆动板。

3.根据权利要求1所述的负载支撑装置，其特征在于，当所述负 载绕着所述第二轴线转动时，所述一个连接器沿一个方向移动，并且 同时：

a）另一个连接器沿相反的方向移动；或者

b）所述另一个连接器保持静止。

4.根据权利要求1所述的负载支撑装置，还包括一个平行于所述 第二轴线移动所述负载的进出板。

5.根据权利要求1所述的负载支撑装置，还包括一个沿着与所述 第一轴线和所述第二轴线垂直的第三轴线移动所述负载的侧移板。

6.根据权利要求1所述的负载支撑装置，其特征在于，所述连接 器还绕着与所述第二轴线垂直的第三轴线转动所述负载。

7.根据权利要求1所述的负载支撑装置，其特征在于，不论所述 第二轴线是否位于所述负载的重心，所述负载均绕着所述第二轴线具 有柔顺性。

8.根据权利要求1所述的负载支撑装置，其特征在于，各所述气 动单元被单独调节。

9.根据权利要求1所述的负载支撑装置，还包括多个移动所述气 动单元至各自第一位置的致动器，所述气动单元有助于所述负载移动 至最终位置。

10.一种负载支撑装置，包括：

多个气动单元；

将所述气动单元连接到所述负载的相反两侧的多个连接器，所述 多个连接器响应于所述多个气动单元的驱动平行于第一轴线向上或向 下移动所述负载，所述多个连接器中的至少一个连接器通过向上或向 下移动而绕着与所述第一轴线垂直的第二轴线转动所述负载，所述气 动单元在至少两个自由度上提供柔顺性。

11.根据权利要求10所述的负载支撑装置，还包括多个沿第一轴 线移动所述负载的致动器，至少一个连接器响应于至少一个所述致动 器的驱动绕着第二轴线转动所述负载，所述气动单元使得所述负载沿 着所述第一轴线和绕着所述第二轴线具有柔顺性。

12.根据权利要求11所述的负载支撑装置，还包括一个沿着所述 第一轴线移动所述负载的摆动板。

13.根据权利要求11所述的负载支撑装置，其特征在于，当所述 负载绕着所述第二轴线转动时，所述一个连接器沿一个方向移动，并 且同时：

a）另一个连接器沿相反的方向移动；或者

b）所述另一个连接器保持静止。

14.根据权利要求11所述的负载支撑装置，还包括一个平行于所 述第二轴线移动所述负载的进出板。

15.根据权利要求11所述的负载支撑装置，还包括一个沿着与所 述第二轴线垂直的第三轴线移动所述负载的侧移板。

16.根据权利要求11所述的负载支撑装置，其特征在于，所述连 接器还绕着与所述第一轴线和第二轴线垂直的第三轴线转动所述负 载。