[发明专利]基板交换方法以及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置的基板交换方法，其中，所述基板处理装置包括基板处理室、进片室以及运送装置，所述运送装置能够通过两个运送部件将基板运入所述基板处理室和所述进片室或从所述基板处理室和所述进片室运出基板，所述基板交换方法进行在所述基板处理室中处理的基板的交换，所述基板交换方法的特征在于，包括：

通过第一运送部件从所述基板处理室运出第一基板的第一运出工序；以及

通过第二运送部件向所述基板处理室运入第二基板的第一运入工序，

并且，在进行所述第一运出工序后并在进行所述第一运入工序之前，执行以下工序：

通过所述第二运送部件从进片室运出所述第二基板的第二运出工序；

通过所述第一运送部件向进片室运入所述第一基板的第二运入工序。

2.如权利要求1所述的基板交换方法，其特征在于，

在所述第二运入工序中，在进行所述第二运出工序之后，向在所述第二运出工序中运出了所述第二基板的进片室运入所述第一基板。

3.如权利要求2所述的基板交换方法，其特征在于，

所述基板处理装置包括多个基板处理室，

基板交换方法进行以下工序：

在进行所述第一运出工序之后并在进行所述第二运出工序之前，通过所述第二运送部件向第二基板处理室运入第三基板的第三运入工序；以及

在进行所述第二运入工序之后并在进行所述第一运入工序之前，通过所述第一运送部件从第三基板处理室运出第四基板的第三运出工序。

4.如权利要求1所述的基板交换方法，其特征在于，

所述基板处理装置包括多个进片室，

基板交换方法

在所述第二运入工序中向第一进片室运入所述第一基板，并且

在所述第二运出工序中，在进行所述第二运入工序之后从第二进片室运出所述第二基板。

5.如权利要求4所述的基板交换方法，其特征在于，

所述基板处理装置包括多个进片室，

所述基板交换方法

在进行所述第一运出工序之后并在进行所述第二运入工序之前，进行通过所述第二运送部件从所述第一进片室运出第三基板的第四运出工序，并且

在进行所述第二运入工序之后并在进行所述第二运出工序之前，进行：通过所述第二运送部件向第二基板处理室运入所述第三基板的第四运入工序；以及通过所述第一运送部件从第三基板处理室运出第四基板的第五运出工序，并且

在进行所述第二运出工序之后并在进行所述第一运入工序之前，进行通过所述第一运送部件向所述第二进片室运入所述第四基板的第五运入工序。

6.一种基板处理装置，包括：

基板处理室；

进片室；

运送装置，所述运送装置具有运送基板的两个运送部件，并能够通过所述两个运送部件将基板运入所述基板处理室和所述进片室或从所述基板处理室和所述进片室运出基板；以及

控制部，所述控制部控制所述运送装置对基板的运入运出，

基板处理装置的特征在于，

所述控制部控制所述运送装置对基板的运入运出，以便在通过第一运送部件从所述基板处理室运出第一基板之后并在通过第二运送部件向所述基板处理室运入第二基板之前，

通过所述第二运送部件从所述进片室运出所述第二基板，接着通过所述第一运送部件向所述进片室运入所述第一基板。

7.一种基板处理装置，包括：

多个基板处理室；

进片室；

运送装置，所述运送装置具有运送基板的两个运送部件，并能够通过所述两个运送部件将基板运入所述基板处理室和所述进片室或从所述基板处理室和所述进片室运出基板；以及

控制部，所述控制部控制所述运送装置对基板的运入运出；

所述控制部控制所述运送装置对基板的运入运出，以便在通过第一运送部件从第一基板处理室运出第一基板之后并在通过第二运送部件向所述第一基板处理室运入第二基板之前，

通过所述第二运送部件向第二基板处理室运入第三基板，接着通过所述第二运送部件从所述进片室运出所述第二基板，接着通过所述第一运送部件向所述进片室运入所述第一基板，接着通过所述第一运送部件从第三基板处理室运出第四基板。

8.一种基板处理装置，包括：

多个基板处理室；

多个进片室；

运送装置，所述运送装置具有运送基板的两个运送部件，并能够通过所述两个运送部件将基板运入所述多个基板处理室和所述多个进片室或从所述基板处理室和所述多个进片室运出基板；以及

控制部，所述控制部控制所述运送装置对基板的运入运出；

所述控制部控制所述运送装置对基板的运入运出，以便在通过第一运送部件从第一基板处理室运出第一基板之后并在通过第二运送部件向所述第一基板处理室运入第二基板之前，

通过所述第二运送部件从第一进片室运出第三基板，接着通过所述第一运送部件向所述第一进片室运入所述第一基板，接着通过所述第二运送部件向第二基板处理室运入所述第三基板，接着通过所述第一运送部件从第三基板处理室运出第四基板，接着通过所述第二运送部件从第二进片室运出所述第二基板，接着通过所述第一运送部件向所述第二进片室运入所述第四基板。