[发明专利]一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构

权利要求书

1.一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构，在每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其特征是：所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。

2.根据权利要求1所述的一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构，其特征是：所述锯齿形正表面的锯齿为三角形且所述三角形锯齿仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。

3.根据权利要求1所述的一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构，其特征是：所述锯齿形正表面的锯齿为梯形且所述梯形锯齿仅与所述矩形正表面的一条长边交叠，交叠部分呈三角形。

4.根据权利要求1所述的一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构，其特征是：所述锯齿形正表面的锯齿为梯形且所述梯形锯齿仅与所述矩形正表面的一条长边交叠，交叠部分呈梯形，所述梯形交叠部分的底边与所述矩形正表面的长边平行。