[发明专利]晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法

权利要求书

1.一种晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法，其特征在于：将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜，进行氮化硅镀膜工艺。

2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法，其特征在于：将硅片放入具有一体化液体环境的设备中，对硅片进行清洗、扩散，在硝酸或氟化氢对硅片的背面进行去磷硅玻璃及刻边，再用氟化氢浸泡，将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜，进行氮化硅镀膜工艺。

3.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法，其特征在于：将硅片进行等离子干刻和液体湿刻，对硅片进行清洗、扩散，再对硅片进行等离子刻边，用氟化氢浸泡硅片并去磷硅玻璃，将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜，进行氮化硅镀膜工艺。

4.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法，其特征在于：对硅片进行清洗、扩散，用氟化氢浸泡硅片并去磷硅玻璃，将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜，进行氮化硅镀膜工艺。