[发明专利]一种新型光栅检测光学成像系统无效
| 申请号： | 201010152259.X | 申请日： | 2010-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN101839801A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 马洪涛;何煦;陈琦;韩冰;崔继承 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 光栅 检测 光学 成像 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型光栅检测光学成像系统，其特征在于，该系统包括入射狭缝、45°转向棱镜、球面准直成像镜和探测器，所述入射狭缝置于球面准直成像镜的焦点处，所述45°转向棱镜置于球面准直成像镜的光轴上；通过入射狭缝的光束经过45°转向棱镜后射入球面准直成像镜，经球面准直成像镜准直后变成平行光射向被检光栅，再由被检光栅衍射后重新进入球面准直成像镜，此时球面准直成像镜将光束会聚到45°转向棱镜，最后光束经由45°转向棱镜成像到探测器上。
2.如权利要求1所述的新型光栅检测光学成像系统，其特征在于，所述45°转向棱镜由K9玻璃制成，所述球面准直成像镜由K9玻璃或微晶玻璃制成。
3.如权利要求1所述的新型光栅检测光学成像系统，其特征在于，所述入射狭缝的精度为0.003mm，其调节范围为0.001mm～0.5mm。
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