[发明专利]套筒类零件内曲面无掩膜微结构的加工方法

权利要求书

1.一种套筒类零件内曲面无掩膜微结构的电解加工方法，其特征在于，包括下列步骤：

1）制作绝缘屏蔽膜：采用两种方式：平面加工和曲面加工，平面加工绝缘屏蔽膜要求制得的绝缘屏蔽膜必须是柔性绝缘薄膜，其柔性绝缘薄膜的表面微结构通过刻蚀、激光加工方法制得，将平面加工制得的柔性屏蔽膜固定于圆柱体外表面，将附着在圆柱体上的绝缘屏蔽膜作为电解加工的圆柱体模具；曲面加工屏蔽膜通过浸渍涂胶及滚动光刻相结合的方法在圆柱体外表面制作微结构图形，制得绝缘屏蔽膜，作为电解加工的圆柱体模具；

2）用夹持装置固定圆柱体模具与套筒类零件，同时控制它们之间的间隙与同轴度；

3）用恒流泵控制电解液流动，使电解液充满圆柱体模具与套筒类零件之间的间隙，并能够均匀地流动于圆柱体模具与套筒类零件之间的间隙；

4）将圆柱体模具作为电解阴极，套筒类零件作为电解阳极，分别与高频窄脉冲电源连接，通电实施电解；

5）电解结束时，先断电，然后停止电解液的流动，从套筒类零件中退出圆柱体模具，并从夹持装置上卸下套筒类零件，完成加工。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在圆柱体表面形成的绝缘屏蔽膜微结构的截面形状为方形、圆形、菱形，尺寸大小可从微米级到毫米级。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：圆柱体模具与套筒类零件间隙的大小控制在100微米以内，同轴度误差控制在5微米以内。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在套筒外部上面设置四个周向均布的出液孔同时出液，下面设置四个周向均布的进液孔同时进液，进液孔与出液孔在周向相差45°。

5.5．根据权利要求1所述的方法，其特征在于：采用高频窄脉冲电源以高频窄脉冲周期性的间歇供电代替传统的连续直流供电方式。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：作为阳极的套筒类零件其表面无掩模，作为阴极的圆柱体模具可多次使用。