[发明专利]一种多端输出薄膜气敏传感器

权利要求书

1.一种多端输出薄膜气敏传感器，包括传感器的绝缘衬底(9)、薄膜电极层(11)、气体敏感膜(10)，其特征在于，以绝缘材料作为传感器的绝缘衬底(9)，通过直流磁控溅射在绝缘衬底上淀积金属薄膜，接着采用光刻工艺形成薄膜电极层(11)，在薄膜电极层(11)上面设置气体敏感膜(10)。

2.根据权利要求1所述的多端输出薄膜气敏传感器，其特征在于，所述的传感器的绝缘衬底(9)材料是钙钠玻璃、二氧化硅等其他刚性绝缘材料，或者是柔性聚合物绝缘材料。

3.根据权利要求1所述的多端输出薄膜气敏传感器，其特征在于，薄膜电极层(11)、气体敏感膜(10)位于传感器的绝缘衬底(9)同侧。

4.根据权利要求1所述的多端输出薄膜气敏传感器，其特征在于，所述的薄膜电极层(11)包括电导信号拾取电极和电容信号拾取电极，电导信号拾取电极和电容信号拾取电极之间是相互独立的，电容信号拾取电极采用环形叉指结构，同时作为加热丝。

5.根据权利要求1所述的多端输出薄膜气敏传感器，其特征在于，所述的薄膜电极层(11)材料采用镍、铬、不锈钢及其它二元或者多元合金混合物。

6.根据权利要求1所述的多端输出薄膜气敏传感器，其特征在于，所述的气体敏感膜(10)材料采用金属氧化物，或者是碳纳米管，或者是有机聚合层，或者是金属氧化物、碳纳米管和有机聚合层的复合材料。